패턴형 사파이어 기판 설명
패턴형 사파이어 기판 (PSS)은 고출력 GaN 기반 발광 다이오드(LED)의 개발에 광범위하게 사용되는 특수 미세 패턴 사파이어 기판입니다. GaN 기반 고휘도 LED의 효율성을 150 루멘 퍼 와트(lm/W)로 끌어올린 패턴형 사파이어 기판 기술의 발전은 이 기술의 주요한 대안이 되었습니다. LED 효율성의 이 상당한 향상은 패턴형 사파이어 기판 기술 덕분에 조명 추출 효율과 내부 양자 효율의 향상에 기인합니다. 정교하게 설계된 사파이어 기판의 패턴은 GaN/사파이어 인터페이스에서의 전반사(total internal reflection)를 완화시켜 조명 추출을 개선합니다. 또한, 패턴형 기판에서 GaN 에피층의 측면 성장으로 인해 나사형 결함(threading dislocations)이 감소하여 내부 양자 효율이 증가하므로, LED 성능 향상에 있어 이 기법의 중요한 역할이 강조됩니다.
패턴형 사파이어 기판 사양
재료
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단결정 Al2O3
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등급
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프라임, 에피-준비
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표면 방향
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C-면 (0001)
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직경 (mm)
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50.80 ± 0.10, 100.00 ± 0.10
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두께 (μm)
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660 ± 10
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주 평면 방향
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A-면(11-20) +/- 0.2°
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주 평면 길이
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16.0 mm +/- 1.0 mm
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연마
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단일 면 연마
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두께 변동 (TTV)
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≤10 um
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휘어짐
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15um
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순도
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>99.99%
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패턴 폭 (μm)
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2.75~2.85
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패턴 높이 (μm)
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1.65~1.85
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패턴 피치 (μm)
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3.0 ± 0.05
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패턴형 사파이어 기판 SEM 보기

패턴형 사파이어 기판 응용
패턴형 사파이어 기판 은 질화갈륨(GaN) 기반 발광 다이오드에 사용됩니다.
패턴형 사파이어 기판 포장
우리의 패턴형 사파이어 기판은 저장 및 운송 중 품질을 보존하기 위해 신중하게 취급됩니다.
사양
자재
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단결정 Al2O3
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등급
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프라임, Epi-Ready
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표면 방향
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C-면 (0001)
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직경 (mm)
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50.80 ± 0.10, 100.00 ± 0.10
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두께 (μm)
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660 ± 10
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주요 평면 방향
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A-면(11-20) +/- 0.2°
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주요 평면 길이
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16.0 mm +/- 1.0 mm
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연마
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단일 측면 연마
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총 두께 변화 (TTV)
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≤10 µm
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뒤틀림
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15 µm
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순도
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>99.99%
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패턴 너비 (µm)
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2.75~2.85
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패턴 높이 (µm)
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1.65~1.85
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패턴 피치 (µm)
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3.0 ± 0.05
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*위 제품 정보는 이론적인 데이터를 기반으로 하며 참고용입니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.