루테늄(Ru) 스퍼터링 타겟 설명
루테늄(Ru) 스퍼터링 타겟은 최첨단 스퍼터링 응용 분야를 위해 설계된 고성능 소재입니다. 첨단 제조 기술을 사용하여 생산된 이 타겟은 스퍼터링 공정 중에 균일한 박막 증착과 뛰어난 작동 안정성을 보장합니다. 고순도 및 맞춤형 물리적 특성으로 마이크로전자, 광학 장치 및 기타 정밀 응용 분야에서 우수한 박막 코팅을 달성하는 데 이상적인 솔루션입니다. 탁월한 내마모성과 높은 열 안정성으로 현대 제조 및 연구 환경의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
루테늄(Ru) 스퍼터링 대상 응용 분야
- 마이크로일렉트로닉스: 집적 회로 및 반도체 소자를 위한 균일한 전도성 박막 증착에 이상적입니다.
- 광학 코팅: 고성능 광학 부품의 반사 및 반사 방지 특성을 향상시키는 데 사용됩니다.
- 장식용 코팅: 다양한 기판에 내구성이 뛰어나고 심미적으로 매력적인 마감 처리를 제공합니다.
- 태양 전지: 효율성과 수명을 개선하기 위해 다층 코팅 시스템에 사용됩니다.
루테늄(Ru) 스퍼터링 타겟 포장
루테늄(Ru) 스퍼터링 타겟은 무결성과 성능을 유지하기 위해 안전하게 포장됩니다.
진공 밀봉 포장: 요청 시 표준 용기 크기로 제공됩니다. 특정 고객 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 포장 솔루션이 제공됩니다.
자주 묻는 질문
질문: 루테늄(Ru) 스퍼터링 타겟을 사용하면 어떤 이점이 있나요?
A: 루테늄 타겟은 우수한 필름 균일성, 고순도 및 뛰어난 안정성을 제공하므로 첨단 기술 응용 분야의 고정밀 박막 증착에 이상적입니다.
Q: 이 타겟에 권장되는 스퍼터링 방법은 무엇인가요?
A: 이 타겟은 DC 스퍼터링에 최적화되어 있어 일관된 성능과 안정적인 박막 형성을 보장합니다.
Q: 루테늄(Ru) 스퍼터링 타겟은 어떻게 제조됩니까?
A: 최신 스퍼터링 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 맞춤화된 고순도 및 정밀도를 보장하는 고급 제조 기술을 사용하여 생산됩니다.
Q: 이 제품에 맞춤형 모양과 크기를 사용할 수 있나요?
A: 예, 표준 디스크 외에도 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 맞춤형 모양과 크기를 제작할 수 있습니다.
Q: 타겟의 고순도가 스퍼터링 성능에 어떤 영향을 미칩니까?
A: 고순도(≥99%)는 증착 중 오염을 최소화하여 최종 코팅에서 우수한 필름 품질, 향상된 접착력 및 일관된 전기적 특성을 제공합니다.
사양
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사양
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가치
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재료 유형
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루테늄
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기호
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Ru
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색상/외관
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금속성, 회색빛
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녹는점
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2334℃
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밀도
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12.37 g/cm³
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스퍼터
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DC
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결합 유형
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인듐, 엘라스토머
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사용 가능한 크기
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맞춤형
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*위 제품 정보는 이론적 데이터를 기반으로 하며 참고용으로만 제공됩니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.