| 카탈로그 번호. | ST0246 |
| 구성 | MgF₂ |
| CAS 번호 | 7783-40-6 |
| 순도 | ≥99%(99.9%/99.99% 사용 가능) |
| 모양 | 디스크 또는 맞춤형 |
| 동의어 | 마그네슘 불화 스퍼터링 타겟, MgF2 타겟, 광학 코팅 타겟 |
Stanford Advanced Materials는 혁신적이고 정밀한 엔지니어링 솔루션을 통해 물질 과학의 발전을 위해 헌신하고 있습니다. 당사의 제품은 엄격한 산업 기준을 충족하도록 개발되어, 모든 응용 분야에서 신뢰성과 성능을 보장합니다.
A: 대부분의 반사 방지 및 보호용 광학 코팅에는 순도 99.9%면 충분합니다. 미량의 불순물이 투과에 영향을 미치거나 결함을 유발할 수 있는 레이저 광학 및 고정밀 반도체 애플리케이션에는 99.99%를 권장합니다.
A: MgF2는 전기 절연체입니다. DC 스퍼터링은 타겟 표면에 전하 축적을 유발하여 아크 및 공정 불안정성을 초래합니다. RF 스퍼터링이 필요합니다.
A: 예, 본딩을 권장합니다. MgF2는 부서지기 쉽고 열전도율이 낮습니다. 냉각된 백킹 플레이트에 적절히 본딩하지 않으면 스퍼터링 중에 열 응력으로 인해 타겟에 균열이 생길 수 있습니다. 인듐 본딩이 표준이며 인듐을 사용할 수 없는 시스템에는 엘라스토머 본딩을 사용할 수 있습니다.
A: 스퍼터링 속도는 RF 출력, 압력 및 시스템 구성에 따라 다릅니다. 일반적인 속도는 3-5W/cm²에서 5-15 Å/초입니다. 구체적인 권장 사항은 시스템 세부 정보와 함께 당사에 문의하시기 바랍니다.
A: 표준 디스크(2"-6")는 일반적으로 1~2주 이내에 배송됩니다. 사용자 지정 모양은 복잡성에 따라 2~3주가 소요됩니다.
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