루테늄 산화물 스퍼터링 타겟 설명
루테늄 산화물 스퍼터링 타겟(RuO2)은 현대 박막 증착 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 제작되었습니다. 순도가 ≥99%이며 디스크를 포함한 다양한 맞춤형 형태로 제공되어 RF 및 DC 스퍼터링 응용 분야에서 뛰어난 일관성과 성능을 보장합니다. 이 제품은 반도체 장치 제조, 에너지 시스템, 고급 센서 기술 등과 같은 높에 정밀도가 요구되는 산업 응용에 적합합니다.
루테늄 산화물 스퍼터링 타겟 응용 분야
· 반도체 제작: 집적 회로及 고급 전자 장치에 필수적인 고품질 박막 생산을 가능하게 합니다.
· 디스플레이 기술: 액정 디스플레이, OLED 및 기타 고해상도 스크린의 코팅 증착에 사용됩니다.
· 센서 제조: 민감한 탐지 및 측정 장비를 위한 일관되고 안정적인 층을 제공합니다.
· 표면 공학: 다양한 산업 부품의 내마모성과 전도성을 개선하는 데 적용됩니다.
루테늄 산화물 스퍼터링 타겟 포장
우리의 루테늄 산화물 스퍼터링 타겟은 전송 및 보관 중 제품 무결성을 보장하기 위해 최대한 신중하게 포장됩니다. 타겟은 고객 요구 사항에 따라 맞춤형 크기로 제공되는 보호 포장에 진공 밀봉되어 귀하의 시설에 최적의 상태로 도착합니다.
자주 묻는 질문
Q: 루테늄 산화물 스퍼터링 타겟은 어떤 산업에서 일반적으로 사용됩니까?
A: 반도체 제조, 디스플레이 기술, 센서 제작 및 고급 표면 공학과 같은 산업에서 널리 사용됩니다.
Q: 이 타겟은 어떤 스퍼터링 방법과 호환됩니까?
A: 이 타겟은 RF 및 DC 스퍼터링 시스템 모두와 호환되어 박막 증착 공정의 유연성을 제공합니다.
Q: 높은 녹는 점이 스퍼터링 과정에 어떻게 유리합니까?
A: 1,200°C의 높은 녹는 점은 타겟이 고전력 조건에서도 안정성을 유지하여 균일한 필름 증착과 긴 타겟 수명을 촉진합니다.
Q: 타겟을 특정 응용 분야에 맞게 커스터마이즈할 수 있습니까?
A: 네, 루테늄 산화물 스퍼터링 타겟은 특정 응용 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 형태와 크기로 제공됩니다.
Q: RuO₂는 박막 증착에서 어떤 성능 이점을 제공합니까?
A: RuO₂는 우수한 화학적 안정성, 고순도 및 뛰어난 전기적 특성을 제공하여 정밀 산업 응용에서 증착된 필름의 품질과 성능을 향상시킵니다.