실리콘 질화물 기판 설명:
실리콘 질화물 기판은 다양한 응용 분야, 특히 반도체 및 전자 산업에서 사용되는 세라믹 소재의 일종입니다. 실리콘 질화물은 기계적, 열적, 전기적 특성의 탁월한 조합으로 가치를 인정받고 있습니다. 특히 열악한 환경에서도 높은 강도, 뛰어난 열 안정성, 우수한 전기 절연성, 열충격에 대한 저항성, 화학적 불활성이 특징입니다. 고전력 반도체 소자 기판에 가장 적합한 소재이며 전력 집적 회로에 널리 사용됩니다.
실리콘 질화물 기판 사양:
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크기
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맞춤형
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두께(mm)
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0.25/0.32/0.38/0.5 등
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표면 거칠기 Ra
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<0.6μm
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밀도
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≥3.2g/cm3
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굽힘 강도
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>700 MPa, 600 MPa
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비커스 경도
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15.0 GPa
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영 계수
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310.0 GPa
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열팽창 계수
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2.5-3.1 x10-6/K
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비열
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680
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실리콘 질화물 기판 응용 분야
- 반도체 제조: 전자 장치 제조를 위한 기판 또는 웨이퍼로 사용되는 Si3N4는 다양한 전자 재료의 증착 및 패터닝을 위한 안정적이고 화학적으로 불활성인 플랫폼을 제공합니다.
- LED 및 파워 일렉트로닉스: 실리콘 질화물의 열적 및 전기적 특성은 발광 다이오드(LED) 및 전력 전자 장치에 사용하기에 적합하여 성능과 신뢰성을 개선하는 데 도움이 될 수 있습니다.
- MEMS(미세전자기계 시스템): Si3N4는 기계적 강도와 반도체 공정 기술과의 호환성 때문에 MEMS 장치 제조에 사용됩니다.
- 마모 부품: 산업 분야에서 질화규소는 경도, 내마모성 및 화학적 안정성의 이점을 가진 베어링, 씰 및 기타 부품을 만드는 데 사용됩니다.
- 절삭 공구: 이 소재의 경도와 열충격 저항성은 고속 절삭 공구에 사용하기에 적합합니다.
- 의료 기기: 실리콘 질화물은 생체 적합성이 뛰어나 수술 기구와 임플란트 등 다양한 의료 분야에 적합합니다.
실리콘 질화물 기판 패키징
실리콘 질화물 기 판은 제품의 품질을 원래 상태로 유지하기 위해 보관 및 운송 과정에서 세심하게 취급됩니다.
실리콘 질화물 기판 FAQ
Q1: 실리콘 질화물 기판이란 무엇인가요?
실리콘 질화물 기판은 세라믹 화합물인 실리콘 질화물(Si₃N₄)로 주로 구성된 얇은 고성능 소재입니다. 집적 회로(IC) 및 전력 장치용 기판을 비롯하여 전자 및 마이크로 전자 애플리케이션에 사용됩니다. 실리콘 질화물은 높은 열 안정성, 우수한 기계적 강도, 전기 절연 특성으로 높은 평가를 받고 있습니다.
Q2: 실리콘 나이트라이드의 주요 특성은 무엇인가요?
높은 열 안정성: 실리콘 질화물은 고온(최대 1400°C 이상)에서도 큰 성능 저하 없이 견딜 수 있습니다.
전기 절연성: 전기 절연성이 뛰어나 전자 및 반도체 장치에 사용하기에 이상적입니다.
기계적 강도: 이 소재는 견고하고 마모와 부식에 강합니다.
열 전도성: 열전도율이 우수하여 고성능 전자기기의 열 방출에 적합합니다.
Q3: 실리콘 질화물 기판의 일반적인 두께는 얼마인가요?
실리콘 질화물 기판의 두께는 용도에 따라 달라질 수 있습니다. 일반적인 두께는 수 마이크로미터(박막 애플리케이션의 경우)에서 수백 마이크로미터(전력 전자 장치 또는 MEMS에 사용되는 두꺼운 기판의 경우)까지 다양합니다. 박막은 IC 제조에 주로 사용되며, 두꺼운 기판은 전력 장치 또는 고온 애플리케이션에 사용됩니다.
비교
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속성
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질화 알루미늄(AlN)
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실리콘 질화물(Si₃N₄)
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알루미나(Al₂O₃)
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열 전도성(W/m-K)
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매우 높음: ~150-220; 상업용: ≥170
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높음: ~86-120; 상업용: ≥80
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보통 ~38-42
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상대 유전율(유전 상수)
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~9.2
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~7.5-8.3
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~9
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밀도(g/cm³)
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3.26
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3.17
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~4
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굴곡/굽힘 강도(MPa)
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높음(≥400)
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매우 높음(≥700)
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AlN 및 Si₃N₄보다 낮음
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열팽창 계수(CTE, ×10-⁶/℃)
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~4.5-4.6
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~2.6
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~6.5-8.0
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주요 주요 애플리케이션
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고전력 LED, RF/마이크로파, 고밀도 패키징
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고신뢰성 자동차(예: EV 전력 모듈), 항공 우주
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비용 효율적인 전자 제품, 일반 산업용 기판
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사양
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크기
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맞춤형
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두께(mm)
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0.25/0.32/0.38/0.5 등
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표면 거칠기 Ra
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<0.6μm
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밀도(g/cm3)
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≥3.2g/cm3
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굽힘 강도
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>700 MPa, 600 MPa
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비커스 경도
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15.0 GPa
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영 계수
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310.0 GPa
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열팽창 계수
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2.5-3.1 x10-6/K
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비열
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680
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*위 제품 정보는 이론적 데이터를 기반으로 하며 참고용으로만 제공됩니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.