몰리브덴-니오븀 합금 로타리 타겟 설명
스탠포드 어드밴스드 머터리얼즈(SAM)는 고효율 박막 증착을 위한 몰리브덴-니오븀(MoNb) 합금 로타리 타겟을 제공합니다. 이 타겟은 일반적으로 90% 몰리브덴과 10% 니오븀으로 구성되어 있으며, 몰리브덴의 높은 융점, 뛰어난 열 및 전기 전도성과 니오븀의 향상된 기계적 강도 및 내식성을 결합합니다. 이 합금은 우수한 필름 접착, 향상된 산화 저항성 및 혹독한 환경에서도 긴 사용 수명을 보장합니다.
MoNb 로타리 타겟은 평면 타겟에 비해 재료 이용률이 80-90%에 달해 서비스 수명을 연장하고 생산 비용을 절감합니다. SAM은 정밀한 결정립 구조 제어 및 균일한 조성을 통해 일관된 스퍼터링 성능과 우수한 코팅 균일성을 보장합니다. 다양한 크기와 맞춤 사양으로 제공되는 SAM의 MoNb 로타리 타겟은 평면 패널 디스플레이, 반도체 코팅, 광학 필름 및 박막 태양 전지 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 첨단 가공 기술과 엄격한 품질 관리를 통해 SAM은 산업 요구 사항에 맞춰 신뢰할 수 있고 내구성이 뛰어난 스퍼터링 소재를 보장합니다.
몰리브덴-니오븀 합금 로타리 타겟 사양
특성
등급
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밀도
(g/cm3)
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평균 결정립 크기
(μm)
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표면 거칠기
(μm)
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직선도
(mm)
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접합율
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MoNb5
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≥10.00
|
≤100
|
≤0.8
|
≤0.30
|
≥97%
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MoNb10
|
≥9.90
|
≤100
|
≤0.8
|
≤0.30
|
≥97%
|
화학 조성(%)
화학 조성
|
MoNb5
|
MoNb10
|
주성분, %, 최소
Mo
|
Mo
|
94.85-95.05
|
89.85-90.05
|
Nb
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5.00±0.1
|
10.00±0.1
|
불순물 함량 (질량분율),
%, 최대
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Al
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0.0050
|
0.0050
|
Cr
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0.0050
|
0.0050
|
Cu
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0.0050
|
0.0050
|
Fe
|
0.0100
|
0.0100
|
Ni
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0.0050
|
0.0050
|
Si
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0.0060
|
0.0060
|
C
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0.0150
|
0.0150
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O
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0.0800
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0.0800
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N
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0.0300
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0.0300
|
*위의 제품 정보는 이론적 데이터에 기반하고 있습니다. 특정 요구 사항 및 상세 문의는 저희에게 연락해 주십시오.
몰리브덴-니오븀 합금 로타리 타겟 응용
- 평판 디스플레이(TFT-LCD 및 OLED): 박막 트랜지스터(TFT) 제조에서 전도체 및 차단층으로 사용되어 디스플레이 성능과 내구성을 향상시킴.
- 반도체 및 마이크로 전자기기: 집적 회로 및 마이크로칩 제작에 적용되어 고순도, 안정적이며 신뢰할 수 있는 박막 코팅 보장.
- 광학 코팅: 고정밀 광학 장치를 위한 반사 방지, 보호 및 전도성 코팅의 성능을 향상시킴.
- 박막 태양 전지(CIGS 및 태양광): 백 접촉층으로 기능하여 태양전지의 에너지 효율성과 내식성을 개선함.
- 내식성 보호 코팅: 혹독한 환경에서 산화 및 알카리 부식에 대한 우수한 저항 제공.
몰리브덴-니오븀 합금 로타리 타겟 포장
당사의 제품은 소재 크기에 따라 맞춤형 카톤으로 포장됩니다. 작은 물품은 PP 박스에 안전하게 포장되고, 더 큰 물품은 맞춤형 목재 상자에 담깁니다. 운송 중 최적의 보호를 제공하기 위해 포장 맞춤화 및 적절한 완충 재료 사용을 철저히 준수합니다.

포장: 카톤, 나무상자 또는 맞춤형.
제조 공정
1. 간략 제조 공정 흐름

2. 테스트 방법
- 화학 성분 분석 - GDMS 또는 XRF와 같은 기술을 사용하여 순도 요구사항 준수 여부 확인.
- 기계적 성질 시험 - 인장 강도, 항복 강도 및 연신율 시험을 포함하여 재료 성능 평가.
- 치수 검사 - 두께, 너비 및 길이를 측정하여 지정된 공차 준수 여부 확인.
- 표면 품질 검사 - 시각적 및 초음파 검사 통해 흠, 균열 또는 포함물 등의 결함 확인.
- 경도 시험 - 재료의 경도를 결정하여 균일성 및 기계적 신뢰성 확인.
몰리브덴-니오븀 합금 로타리 타겟 FAQ
Q1: MoNb 로타리 타겟을 평면 타겟보다 사용하는 장점은 무엇인가요?
A1: MoNb 로타리 타겟은 재료 이용률이 80-90%로 높아 서비스 기간이 길고 박막 증착이 더 균일하여 대면적 코팅에 더 비용 효율적입니다.
Q2: MoNb 로타리 타겟은 어떤 응용 분야에 일반적으로 사용되나요?
A2: TFT-LCD 디스플레이, 반도체 코팅, 광학 코팅, 박막 태양 전지 및 내식성 보호층에서 널리 사용됩니다.
Q3: 스퍼터링 타겟에서 몰리브덴에 니오븀을 추가하는 이점은 무엇인가요?
A3: 니오븀은 몰리브덴의 내식성, 산화 저항성 및 기계적 강도를 향상시켜 타겟의 내구성과 박막 품질을 개선합니다.
경쟁 제품과의 성능 비교 표
몰리브덴-니오븀 합금 로타리 타겟 vs. 몰리브덴-니오븀 합금 평면 타겟
특징
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몰리브덴-니오븀 합금 로타리 타겟
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몰리브덴-니오븀 합금 평면 타겟
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재료 이용률
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최대 80-90%
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약 30-40%
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서비스 수명
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더 길어 교체 빈도 감소
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짧아져서 자주 교체해야 함
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코팅 균일성
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더 균일하여 대면적 코팅에 이상적임
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두께 변동이 있을 수 있음
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생산 비용
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초기 비용은 더 높지만 장기적으로 경제적
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초기 비용은 낮지만 빈번한 교체 필요
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응용 분야
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대면적 코팅
(TFT-LCD, 태양 전지, 광학 코팅)
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소면적 코팅
(반도체, 정밀 전자기기)
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스퍼터링 안정성
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더 안정적이며 재료 손실 감소
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균일하지 않은 침식 때문에 덜 안정적일 수 있음
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호환 장비
|
로타리 스퍼터링 시스템 필요
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전통적인 평면 스퍼터링 시스템과 호환 가능
|
몰리브덴-니오븀 합금 로타리 타겟 vs. 몰리브덴 합금 로타리 타겟
특징
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MoNb 합금 로타리 타겟
|
순수 몰리브덴 로타리 타겟
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조성
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일반적으로 90% Mo, 10% Nb
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99.9% 이상의 순수 몰리브덴
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재료 이용률
|
높음 (80-90%)
|
높음 (80-90%)
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내식성
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니오븀 추가로 인해 우수함
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보통
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산화 저항성
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산화 저항력이 향상됨
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좋지만 MoNb 보다 낮음
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기계적 강도
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강도가 더 높아 내구성이 개선됨
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MoNb보다 낮음
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열 안정성
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높아 고온 코팅에 적합함
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높음, 뛰어난 열 저항성
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박막 균일성
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우수함
|
우수함
|
코팅 접착력
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니오븀으로 인해 개선됨
|
좋음
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응용 분야
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TFT-LCD, 반도체, 광학 코팅, 태양 전지
|
TFT-LCD, 반도체, 산업 코팅
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비용
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합금 공정으로 인해 약간 높음
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낮음
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관련 정보
- 원자재-몰리브덴
몰리브덴(Mo)은 높은 융점을 가진 내화 금속으로 뛰어난 열 및 전기 전도성과 뛰어난 내식성을 특징으로 합니다. 이 금속은 극한 조건에서의 강도와 안정성으로 인해 다양한 산업 응용 분야에 필수적입니다.
주요 특성:
원자 번호: 42
원자량: 95.95
밀도: 10.28 g/cm³
융점: 2,617°C (4,723°F)
비점: 4,639°C (8,382°F)
열 전도율: 138 W/m·K
몰리브덴의 응용:
전자 및 박막 코팅: TFT-LCD 디스플레이, 태양 전지 및 반도체 구성 요소를 위한 스퍼터링 타겟으로 사용됨.
항공 우주 및 고온 환경: 항공기 및 로켓 부품을 위한 고성능 합금에 적용되어 열 저항성을 제공합니다.
에너지 산업: 원자로, 발전 및 고온로에서 필수적입니다.
강철 및 금속 합금: 스테인리스강 및 초합금에서 강도, 경도 및 내식성을 향상시킵니다.
화학 산업: 석유 정제 및 화학 가공에서 촉매 역할을 합니다.
몰리브덴의 높은 온도 안정성, 내구성 및 전도성의 독특한 조합은 첨단 제조 및 기술 응용 분야에서 특히 귀중한 재료입니다.
사양
특성
급
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밀도
(g/cm3)
|
평균 입자 크기
(μm)
|
거칠기
(μm)
|
직진성
(mm)
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결합률
|
MoNb5
|
≥10.00
|
≤100
|
≤0.8
|
≤0.30
|
≥97%
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MoNb10
|
≥9.90
|
≤100
|
≤0.8
|
≤0.30
|
≥97%
|
화학 조성. %
화학 조성
|
MoNb5
|
MoNb10
|
주 성분, %, 최소
Mo
|
Mo
|
94.85-95.05
|
89.85-90.05
|
Nb
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5.00±0.1
|
10.00±0.1
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불순물 함량 (질량 비율),
%, 최대
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Al
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0.0050
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0.0050
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Cr
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0.0050
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0.0050
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Cu
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0.0050
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0.0050
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Fe
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0.0100
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0.0100
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Ni
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0.0050
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0.0050
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Si
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0.0060
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0.0060
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C
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0.0150
|
0.0150
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O
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0.0800
|
0.0800
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N
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0.0300
|
0.0300
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*위의 제품 정보는 이론적 데이터에 기반합니다. 특정 요구 사항 및 세부 문의 사항은 저희에게 연락해 주십시오.