Erbium Planar Target Description
Stanford Advanced Materials (SAM)는 99.9%에서 99.99% (3N-4N) 순도의 세륨 금속으로 제조된 Erbium Planar Targets를 제공하며, 고성능 박막 응용을 위해 맞춤 제작됩니다. 표준 지름은 50 mm에서 200 mm까지, 두께는 3 mm에서 10 mm로 제공되며, 고출력 스퍼터링 시스템에서의 열 안정성을 향상시키기 위해 결합 구성(예: Cu 또는 Mo 백판)을 추가할 수 있습니다. 미세 구조는 <50 μm의 미세한 입자 크기와 95% 이상의 이론 밀도로 설계되어, 입자 생성을 최소화하고 균일한 필름을 보장합니다. 산화 방지를 위해 각 타겟은 아르곤으로 채워진 포장재에 진공 밀봉되어, 보관 및 운송 중 표면 무결성을 보존합니다. 품질 보증 프로토콜에는 ICP-MS 불순물 분석, XRD 결정학적 확인 및 표면 거칠기 측정(<0.5 μm Ra)이 포함되어 있으며, ASTM F3091 및 ISO 9001 표준을 준수합니다. SAM은 스퍼터링 매개변수(예: RF 전력 최적화, Ar 가스 압력 범위)에 대한 기술적 지침을 지원하며, 표준 사양에 대한 주문은 전 세계에 3-4주 이내에 배송됩니다.
Erbium Planar Target Specification
Properties
Purity
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99.9%
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Theoretical Density
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8.795 g/cm3
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Melting Point
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1522.0 ℃
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Boiling Point
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2510.0 ℃
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Product Shape
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직사각형 또는 요청에 따라 맞춤 제작 가능
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Product Size
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맞춤 제작
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*위 제품 정보는 이론 데이터를 기반으로 합니다. 특정 요구 사항 및 상세 문의사항은 저희에게 문의하십시오.
Erbium Planar Target Applications
1. 섬유 광학 및 통신: 광섬유 통신 시스템의 광 증폭기(EDFAs)에 사용되는 세륨 도핑 필름으로 장거리 신호 전송 가능.
2. 적외선 레이저 시스템: 의료적 피부 치료, 치과 및 정밀 재료 가공을 위한 Er: YAG 레이저 (2.94 μm 파장).
3. 핵 공학: 원자로 제어봉 및 방사선 차폐를 위한 세륨-166 동위원소를 사용하는 중성자 흡수 코팅.
4. 의료 및 생의학 장치: 바이오 센서 및 방사선 동위원소 치료를 위한 세륨 기반 박막 (예: 뼈암 통증 완화를 위한 Er-169).
5. 양자 연구: 양자 기억 및 포토닉 양자 컴퓨팅 응용을 위한 Er³⁺ 도핑 결정.
Erbium Planar Target Packaging
저희 제품은 재료 치수에 따라 다양한 크기의 맞춤 상자에 포장됩니다. 작은 품목은 PP 상자에 안전하게 포장되고, 큰 품목은 맞춤 제작된 나무 크레이트에 담깁니다. 우리는 포장 맞춤화 및 적절한 완충 재료 사용을 엄격히 준수하여 운송 중 최적의 보호를 제공합니다.

포장: 종이 상자, 나무 상자 또는 맞춤 제작.
Manufacturing Process
1. 간단한 제조 공정 흐름

2. 테스트 방법
- 화학 조성 분석 - GDMS 또는 XRF와 같은 기술을 사용하여 순도 요구 사항 준수 여부를 확인합니다.
- 기계적 성질 테스트 - 인장강도, 항복강도, 연신율 테스트를 포함하여 재료 성능을 평가합니다.
- 치수 검사 - 두께, 너비 및 길이를 측정하여 지정된 공차 준수를 확인합니다.
- 표면 품질 검사 - 스크래치, 균열 또는 포함물을 시각적 및 초음파 검사를 통해 검사합니다.
- 경도 테스트 - 균일성과 기계적 신뢰성을 확인하기 위해 재료 경도를 측정합니다.
Erbium Planar Target FAQs
Q1: 사용 가능한 순도 등급은 무엇입니까?
A1: SAM은 99.9% (3N) 순도를 제공합니다.
Q2: 비표준 타겟 형태를 요청할 수 있습니까?
A2: 예. 맞춤 지름, 두께 및 결합 구성(예: Ag 백판)을 지원합니다.
Q3: 사용 중 세륨 산화를 방지하는 방법은 무엇입니까?
A3: 건조한 아르곤 환경에서 타겟을 보관하고 사전 스퍼터링 표면 세척을 수행하십시오.
Performance Comparison Table with Competitive Products
Erbium Rotary Target vs. Erbium Planar Target
Feature
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Erbium Rotary Target
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Erbium Planar Target
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Material Utilization
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80-90%까지
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약 30-40%
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Service Life
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긴 서비스 수명, 교체 빈도 감소
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짧은 서비스 수명, 더 자주 교체 필요
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Coating Uniformity
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더 균일, 대면적 코팅에 적합
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두께 변동이 있을 수 있음
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Production Cost
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높은 초기 비용이지만 장기적으로 경제적
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낮은 초기 비용이지만 더 자주 교체해야 함
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Applications
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대면적 코팅 (TFT-LCD, 태양전지, 광학 코팅)
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소면적 코팅 (반도체, 정밀 전자기기)
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Sputtering Stability
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더 안정적, 재료 손실 감소
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고르지 않은 침식으로 인해 덜 안정적일 수 있음
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Compatible Equipment
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회전 스퍼터링 시스템 필요
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전통적인 평면 스퍼터링 시스템과 호환됨
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Related Information
- 원자재 - 세륨
원자 번호: 68 | 원자량: 167.26 g/mol | 계열: 란타나이드.
물리적 성질: 은백색 금속, 밀도 9.07 g/cm³, melting point 1529℃, 상자성.
화학적 성질: 안정한 산화물(Er₂O₃) 형성, 물과 천천히 반응, 산에 용해됨.
주요 용도:
광학: 통신용 에르븀 도핑 섬유 증폭기 (EDFAs).
의료: 피부 재생을 위한 Er:YAG 레이저, 완화 치료를 위한 Er-169.
핵: 중성자 흡수를 위한 Er-166 동위원소.
사양
Properties
순도
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99.9%
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이론 밀도
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8.795 g/cm3
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녹는점
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1522.0 ℃
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끓는점
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2510.0 ℃
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제품 형태
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직사각형, 요청 시 맞춤형 가능
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제품 크기
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맞춤형
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*위의 제품 정보는 이론적 데이터에 기반합니다. 특정 요구 사항 및 자세한 문의는 저희에게 연락해 주시기 바랍니다.