이터븀 평면 타겟 설명
Stanford Advanced Materials (SAM)는 정밀 박막 증착을 위해 99.9%에서 99.99% (3N–4N) 순도의 이터븀 금속으로 제작된 이터븀 평면 타겟을 제공합니다. 표준 직경(50–200 mm)과 두께(3–10 mm)로 제공되며, 열적 안정성을 강화하기 위해 Cu 또는 Mo 지지판에 결합할 수 있습니다. 50 μm 미만의 미세 조직과 95% 이상의 이론적 밀도로 설계되어 있으며, 입자 생성을 최소화하고 필름 균일성을 보장합니다. 각 타겟은 산화 방지를 위해 아르곤으로 충전된 포장재에 진공 밀봉되어 있으며, ICP-MS 불순물 분석 및 XRD 결정학적 검증 등의 품질 인증서를 포함하고 있습니다. SAM은 고객에게 스퍼터링 매개변수 최적화 지원(예: RF 전력, 가스 압력)을 제공하며, 표준 사양에 대해 전 세계적으로 3–4주 이내에 주문을 배송합니다.
이터븀 평면 타겟 사양
속성
순도
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99.9%
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이론 밀도
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6.90 g/cm3
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melting point
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824 ℃
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boiling point
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1196 ℃
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제품 형태
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직사각형 또는 요청 시 맞춤형
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제품 크기
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맞춤형
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*위 제품 정보는 이론적 데이터를 기반으로 합니다. 구체적인 요구 사항 및 상세 문의는 저희에게 연락하십시오.
이터븀 평면 타겟 응용
1. 섬유 레이저 및 증폭기: 고출력 섬유 레이저(예: Yb:YAG)용 Yb-도핑 필름, 산업 절단 및 통신에 사용됩니다.
2. 원자 시계: 초정밀 광격자 시계를 위한 박막.
3. 태양전지: 페로브스카이트 태양전지의 광자 전환 효율을 향상시키기 위한 Yb 기반 코팅.
4. 핵 의학: 휴대용 감마선 소스를 위한 Yb-169 동위 원소 코팅.
5. 양자 연구: 양자 메모리 및 얽힘 연구를 위한 Yb³⁺-도핑 재료.
이터븀 평면 타겟 포장
당사의 제품은 재료 치수에 따라 다양한 크기의 맞춤형 상자에 포장됩니다. 소형 품목은 PP 상자에 안전하게 포장되며, 대형 품목은 맞춤형 나무 상자에 포장됩니다. 우리는 포장 맞춤화 및 적절한 완충 재료 사용을 엄격하게 준수하여 운송 중 최적의 보호를 제공합니다.

포장: 상자, 나무 상자 또는 맞춤형.
제조 과정
1. 간단한 제조 공정 흐름
2. 시험 방법
- 화학 조성 분석 - GDMS 또는 XRF와 같은 기법을 사용하여 순도 요구 사항 준수 여부를 확인합니다.
- 기계적 성질 테스트 - 인장 강도, 항복 강도 및 연신율 테스트를 포함하여 재료 성능을 평가합니다.
- 치수 검사 - 두께, 너비 및 길이를 측정하여 지정된 허용 오차 준수를 확인합니다.
- 표면 품질 검사 - 시각적 및 초음파 검사를 통해 긁힘, 균열 또는 포함물과 같은 결함을 확인합니다.
- 경도 테스트 - 균일성과 기계적 신뢰성을 확인하기 위해 재료 경도를 결정합니다.
이터븀 평면 타겟 FAQ
Q1: 타겟의 순도는 얼마입니까?
A1: SAM은 99.9% 순도의 이터븀 평면 타겟을 공급합니다.
Q2: 이터븀 타겟을 안전하게 다루는 방법은 무엇입니까?
A2: 건조한 아르곤에서 보관하고 직접 피부 접촉을 피합니다. 장갑과 클린룸 프로토콜을 사용하십시오.
Q3: 추천되는 스퍼터링 매개변수는 무엇입니까?
A3: 일반 설정: RF 전력 80–200 W, Ar 압력 2–5 mTorr, 기판 온도 100–300°C.
경쟁 제품과의 성능 비교 표
이터븀 로터리 타겟 vs. 이터븀 평면 타겟
특징
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이터븀 로터리 타겟
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이터븀 평면 타겟
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재료 활용도
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80-90% 범위
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약 30-40% 범위
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서비스 수명
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더 길며 교체 빈도를 줄임
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짧으며 더 자주 교체 필요
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코팅 균일성
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더 균일하며 대면적 코팅에 적합
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두께 변동이 있을 수 있음
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생산 비용
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초기 비용이 더 높지만 장기적으로 경제적
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초기 비용이 더 낮지만 더 빈번한 변경 필요
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응용
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대면적 코팅(TFT-LCD, 태양전지, 광학 코팅)
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소면적 코팅(반도체, 정밀 전자 제품)
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스퍼터링 안정성
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재료 손실을 줄이는 더 안정적
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불균형 침식으로 인해 잠재적으로 덜 안정적
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호환 장비
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로터리 스퍼터링 시스템 필요
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전통적인 평면 스퍼터링 시스템과 호환
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관련 정보
- 원자재 - 이터븀
원자 번호: 70 | 녹는점: 824°C | 밀도: 6.97 g/cm³.
주요 용도: 레이저, 원자 시계, 방사선 차폐.
사양
속성
순도
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99.9%
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이론 밀도
|
6.90 g/cm3
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융점
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824 ℃
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비점
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1196 ℃
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제품 모양
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직사각형 또는 요청에 따라 맞춤형
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제품 크기
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맞춤형
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*위 제품 정보는 이론적 데이터에 기반합니다. 특정 요구 사항 및 상세한 문의는 저희에게 연락해 주시기 바랍니다.