루테늄 평면 타겟 설명
SAM의 루테늄 평면 타겟은 99.9%에서 99.99% (3N-4N) 순도의 루테늄 금속으로 제작되며, 직경(50-200 mm) 및 두께(3-10 mm)에서 사용 가능합니다. 맞춤형 접합(예: Cu 백 플레이트) 및 미세 결정 구조(<50 μm)는 균일한 스퍼터링 및 열 안정성을 보장합니다. 산화 방지를 위해 아르곤으로 채워진 용기에서 진공 밀봉 처리되며, 각 타겟은 XRD 결정학 및 ICP-MS 불순물 분석을 거쳐 ASTM F3091을 준수합니다. 기술 지원에는 스퍼터링 매개 변수 안내(예: DC 전력 범위) 및 신속한 납품(3-4주)이 포함됩니다.
루테늄 평면 타겟 사양
특성
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순도
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99.9%
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이론 밀도
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9.8404 g/cm3
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녹는점
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1663 ℃
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끓는점
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3395 ℃
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제품 형태
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직사각형 또는 요청에 따라 맞춤 제작 가능
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제품 크기
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맞춤형
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*위 제품 정보는 이론적 데이터에 기반합니다. 특정 요구 사항 및 자세한 문의는 저희에게 연락해 주세요.
루테늄 평면 타겟 응용 분야
1. 의료 이미징: 암 방사선 치료를 위한 Lu-177 동위원소 필름.
2. 촉매작용: 석유 정제 및 화학 합성을 위한 Lu-도핑 코팅.
3. 신티레이터: PET 스캐너 및 방사선 탐지기에서 사용되는 Lu 기반 필름.
4. 전자기기: 반도체 장치에 대한 고유전율 유전체층.
루테늄 평면 타겟 포장
저희 제품은 재료 크기에 따라 다양한 크기의 맞춤형 종이 박스에 포장됩니다. 소형 제품은 PP 상자에 안전하게 포장되며, 대형 제품은 맞춤형 목재 상자에 보관됩니다. 저희는 포장 맞춤화 및 적절한 완충 재료 사용을 철저히 준수하여 운송 중 최적의 보호를 제공합니다.
포장: 박스, 목재 상자 또는 맞춤형.
제조 과정
1. 간단한 제조 공정 흐름
2. 테스트 방법
- 화학 조성 분석 - GDMS 또는 XRF와 같은 기술을 사용하여 순도 요구 사항 준수 여부를 확인합니다.
- 기계적 성질 테스트 - 인장 강도, 항복 강도 및 연신율 테스트를 포함하여 재료 성능을 평가합니다.
- 치수 검사 - 두께, 폭 및 길이를 측정하여 규정된 허용 오차를 준수하는지 확인합니다.
- 표면 품질 검사 - 비주얼 및 초음파 검사를 통해 스크래치, 균열 또는 불순물과 같은 결함을 점검합니다.
- 경도 테스트 - 재료의 경도를 확인하여 균일성과 기계적 신뢰성을 확인합니다.
루테늄 평면 타겟 FAQ
Q1: 루테늄 타겟의 순도 등급은 무엇이 있나요?
A1: SAM은 99.9% (3N) 순도 등급을 제공하며, 불순물 데이터는 분석 증명서(Certificate of Analysis, CoA)에 제공됩니다.
Q2: 맞춤형 타겟 치수나 접합 구성을 요청할 수 있나요?
A2: 네. 맞춤형 직경 (50-200 mm), 두께 (3-10 mm), 및 접합 백킹 (예: Cu, Mo)이 지원됩니다. 신속한 프로토타입을 위한 사양을 제출해 주세요.
Q3: 저장 및 배송 중 산화를 방지하는 방법은 무엇인가요?
A3: 타겟은 desiccant 팩과 함께 아르곤으로 채워진 용기에 진공 밀봉 처리됩니다. 배송 후 건조 비활성 가스(Ar/N₂)에서 저장하는 것이 권장됩니다.
경쟁 제품과의 성능 비교 표
루테늄 회전 타겟 vs. 루테늄 평면 타겟
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특징
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루테늄 회전 타겟
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루테늄 평면 타겟
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재료 활용율
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최대 80-90%
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약 30-40%
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서비스 수명
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긴 주기로 교체 필요
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짧은 주기로 더 자주 교체 필요
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코팅 균일성
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더 균일하여 대면적 코팅에 적합
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두께 변동이 있을 수 있음
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생산 비용
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초기 비용이 더 높지만 장기적으로 경제적
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초기 비용이 저렴하지만 더 자주 교체해야 함
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응용 분야
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대면적 코팅 (TFT-LCD, 태양 전지, 광학 코팅)
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소면적 코팅 (반도체, 정밀 전자 기기)
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스퍼터링 안정성
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더 안정적이며 재료 손실 감소
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고르지 않은 침식으로 인해 안정성이 떨어질 수 있음
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호환 장비
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회전 스퍼터링 시스템 필요
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전통적인 평면 스퍼터링 시스템과 호환 가능
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관련 정보
- 원자재 - 루테늄
원자번호: 71 | 녹는점: 1663°C | 밀도: 9.84 g/cm³.
주요 용도: 암 치료, 촉매작용, 전자기기.
재미있는 사실: 루테늄은 가장 무겁고 단단한 희토류 금속입니다.
사양
속성
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순도
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99.9%
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이론 밀도
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9.8404 g/cm3
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융해점
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1663 ℃
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沸点
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3395 ℃
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제품 형태
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직사각형 또는 요청에 따라 맞춤형
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제품 크기
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맞춤형
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*위 제품 정보는 이론적 데이터에 기반합니다. 특정 요구사항 및 상세 문의는 저희에게 연락하시기 바랍니다.
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