탄탈럼 텅스텐 타겟 (TaW 타겟) 설명
탄탈럼 텅스텐 타겟 (TaW 타겟)은 탄탈럼의 우수한 부식 저항성과 텅스텐의 높은 융점 및 열 전도성을 결합한 복합 스퍼터링 소재입니다. 이 합금은 극한 조건에서 뛰어난 기계적 강도와 안정성을 제공하여 고온 스퍼터링 응용에 적합합니다. 탄탈럼은 특히 산성 및 고온 환경에서 화학 공격에 대한 저항력이 뛰어나며, 텅스텐은 열과 기계적 스트레스를 견디는 능력을 향상시킵니다. 이 두 금속의 조합은 다양한 요구가 있는 박막 증착 공정에 적합한 뛰어난 내구성을 가진 타겟을 제공합니다. 이 소재는 스퍼터링 동안 우수한 균일성과 일관성을 유지하여 낮은 입자 오염으로 고품질 필름 증착을 보장합니다. TaW 타겟은 항공우주, 전자 및 에너지와 같은 산업에서 고성능과 내구성이 중요한 응용에 일반적으로 사용됩니다.
탄탈럼 텅스텐 타겟 (TaW 타겟) 사양
소재
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Ta, W
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순도
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99.95%
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형상
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평면 디스크
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*위의 제품 정보는 이론적 데이터에 기반합니다. 특정 요구 사항 및 상세 문의는 저희에게 연락해 주십시오.
크기: 맞춤형
탄탈럼 텅스텐 타겟 (TaW 타겟) 응용
- 반도체 제조: 반도체 소자의 박막 증착을 위해 사용되며, 내구성이 있는 장벽층 및 도전성 코팅을 생성하는 데 필요합니다. 이는 부식에 대한 높은 저항성과 고온 안정성이 요구됩니다.
- 항공 우주 및 방위: TaW 타겟은 항공 부품, 예를 들어 터빈 날개 및 엔진 부품에 대한 코팅 생산에 사용됩니다. 여기서는 고온 저항성과 기계적 강도가 필수적입니다.
- 에너지 산업: 이 합금은 핵 반응로의 고성능 구성 요소에 대한 코팅 재료와 같은 응용을 위해 에너지 분야에서 사용됩니다. 이는 극한 환경을 견디고 부식에 저항할 수 있습니다.
- 광학 코팅: 탄탈럼 텅스텐 타겟은 내구성이 뛰어나고 고성능이 요구되는 응용을 위한 광학 코팅의 박막 증착에 사용됩니다.
- 고급 전자제품: TaW는 전자제품 및 고급 전자 장치의 박막을 생산하는 데 사용되며, 내구성이 뛰어난 도전층을 제공합니다. 이는 마모와 고온에 대한 저항력이 뛰어납니다.
탄탈럼 텅스텐 타겟 (TaW 타겟) 포장
저희 제품은 소재 치수에 따라 다양한 크기의 맞춤형 상자에 포장됩니다. 소형 품목은 PP 박스에 단단히 포장하고, 대형 품목은 맞춤형 나무 상자에 담습니다. 우리는 포장 사용자 지정 및 최적의 보호를 위해 적절한 완충재 사용을 엄격히 준수합니다.

포장: 상자, 나무 상자 또는 맞춤형.
제조 과정
1. 제조 과정 흐름 요약

2. 시험 방법
- 화학 조성 분석 - 순도 요구 사항 준수를 보장하기 위해 GDMS 또는 XRF와 같은 기술을 통해 확인됩니다.
- 기계적 특성 테스트 - 인장 강도, 항복 강도 및 신율 테스트를 포함하여 소재 성능을 평가합니다.
- 치수 검사 - 두께, 폭 및 길이를 측정하여 지정된 허용오차 준수를 확인합니다.
- 표면 품질 검사 - 시각적 및 초음파 검사로 긁힘, 균열 또는 불순물과 같은 결함을 확인합니다.
- 경도 테스트 - 소재의 경도를 측정하여 균일성 및 기계적 신뢰성을 확인합니다.
탄탈럼 텅스텐 타겟 (TaW 타겟) 자주 묻는 질문
Q1: TaW 타겟을 사용해야 하는 주된 이점은 무엇입니까?
A1: TaW 타겟은 뛰어난 고온 안정성, 우수한 부식 저항성 및 강한 기계적 특성을 제공하여 항공우주, 반도체 제조 및 에너지 응용과 같은 요구가 높은 환경에서 적합합니다.
Q2: TaW 타겟의 크기나 형태를 사용자 정의할 수 있습니까?
A2: 네, Stanford Advanced Materials는 특정 응용 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 크기와 형태의 맞춤형 TaW 타겟을 제공합니다. 맞춤 옵션에 대해서는 저희에게 연락해 주십시오.
Q3: TaW 타겟과 호환되는 스퍼터링 방법은 무엇입니까?
A3: TaW 타겟은 DC 및 RF 스퍼터링 방법 모두와 호환되며, 고출력 스퍼터링 시스템에 적합하여 박막 응용을 위한 일관되며 고품질의 증착을 보장합니다.
경쟁 제품과의 성능 비교 표
TaW 타겟 vs. Ta 타겟 vs. Nb 타겟
속성
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TaW 타겟
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Ta 타겟
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Nb 타겟
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소재
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탄탈럼 텅스텐
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탄탈럼
|
니오븀
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응용
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박막, 코팅
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전자, 합금
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전자, 합금
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융점
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~3000°C
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~2996°C
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~2468°C
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밀도 (g/cm³)
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17
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16.6
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8.57
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전도성
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낮음
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낮음
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높음
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비용
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높음
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높음
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보통
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경도
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높음
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높음
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보통
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관련 정보
- 원자재 - 탄탈럼 (Ta)
탄탈럼은 원자 번호 73의 조밀한 부식 저항성 내화 금속으로, 3017°C의 매우 높은 융점을 가지고 있습니다. 이 금속은 특히 산에 대한 화학적 비활성이며, 탁월한 부식 저항성을 기여하는 보호 산화막을 형성합니다. 탄탈럼은 높은 연성과 생체 적합성을 가지고 있으며, 높은 온도에서도 강도를 유지하여 전자, 항공우주 및 의료 응용에서 가치가 있습니다. 또한 우수한 정전 용량 특성으로 인해 축전기 제조에 중요한 소재입니다.
- 원자재 - 텅스텐 (W)
텅스텐은 원자 번호 74로, 모든 원소 중에서 가장 높은 융점인 3422°C를 가진 가장 무겁고 내열성이 뛰어난 금속입니다. 이 금속은 뛰어난 경도, 높은 밀도(19.3 g/cm³) 및 열 및 기계적 피로에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다. 텅스텐은 극한 내구성이 요구되는 응용, 예를 들어 절삭 도구, 고온 용광로 및 스퍼터링 타겟에서 널리 사용됩니다. 또한 방사선 차폐 및 내마모성 코팅에 기여합니다.
사양
재료
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Ta, W
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순도
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99.95%
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형태
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평면 원판
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*위 제품 정보는 이론적 데이터에 기반합니다. 구체적인 요구 사항 및 상세 문의는 저희에게 연락해 주시기 바랍니다.
크기: 맞춤형