지르코늄(Zr)은 밀도 6.52g/cm3의 은색 금속입니다. 지르코늄은 중성자 흡수 단면적이 매우 작고 녹는점(1855°C 또는 3371°F)이 비교적 높기 때문에 원자력 발전봉의 훌륭한 소재가 될 수 있습니다. 지르코늄 스펀지와 크리스탈 바는 스퍼터링 타겟을 만들기 위한 원료입니다. 지르코늄 스펀지는 저렴하고 순도가 낮지만 산소 함량이 높습니다. 지르코늄 크리스탈 바는 비용과 순도가 높기 때문에 스퍼터링 타겟에 이상적인 재료입니다. 지르코늄과 Hf는 모두 원자력 산업에 적용될 수 있습니다. 그러나 중성자 포획에 있어서는 서로 다른 특성을 가지고 있습니다. 비슷한 성질을 가지고 있지만 액체 추출법이나 용융염 증류법을 사용하여 분리해야 합니다. 당사는 저하프늄(250ppm, 또는 0.025%)과 고하프늄의 두 가지 등급의 고순도 지르코늄 타겟을 제공합니다.
지르코늄 스퍼터링 타겟 응용 분야
1. 반도체 제조: 집적 회로(IC), 마이크로칩 및 기타 전자 부품을 제조하는 동안 반도체 기판에 지르코늄 박막을 증착하는 데 활용됩니다. 지르코늄 스퍼터링 타겟은 반도체 소자의 성능과 신뢰성에 중요한 정밀한 두께와 균일성을 갖춘 박막을 만드는 데 도움이 됩니다.
2. 광학 코팅: 광학 코팅: 통신, 항공우주, 과학 연구 등의 산업에서 렌즈, 거울 및 기타 광학 부품용 광학 코팅 생산에 사용됩니다. 스퍼터링 타겟으로 증착된 지르코늄 박막은 반사율 및 광 투과율과 같은 표면의 광학적 특성을 향상시켜 다양한 응용 분야에 사용됩니다.
3. 표면 공학: 재료의 내마모성, 내식성 및 생체 적합성을 향상시키기 위한 지르코늄 코팅 증착을 포함한 표면 개질 공정에 사용됩니다. 지르코늄 스퍼터링 타겟은 자동차, 의료 및 항공 우주와 같은 산업에서 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 특성을 가진 박막을 증착할 수 있습니다.
4. 박막 태양 전지: 지르코늄 기반 소재가 완충층, 투명 전도성 산화물 또는 후면 접점 역할을 하는 박막 태양 전지 생산에 활용되어 태양 전지 패널의 효율과 성능을 향상시킵니다. 지르코늄 스퍼터링 타겟은 구성과 두께를 정밀하게 제어하여 이러한 박막 층을 증착하는 데 중요한 역할을 합니다.
지르코늄 스퍼터링 타겟 사양
이름
지르코늄
기호
Zr
원자 번호
40
원자 질량
91.224 amu
녹는점
1852.0°C(2125.15°K, 3365.6°F)
끓는점
4377.0°C(4650.15°K, 7910.6°F)
분류
전이 금속
결정 구조
육각형
색상
회색
열 전도성
22.7 W/m.K
열팽창 계수
5.7 x 10-6/K
이론 밀도(g/cc)
6.49
지르코늄 스퍼터링 타겟 포장
당사의 지르코늄 스퍼터링 타겟은 보관 및 운송 중 손상을 방지하고 제품의 품질을 원래 상태로 유지하기 위해 세심하게 취급됩니다.
지르코늄 스퍼터링 타겟 FAQ
지르코늄 스퍼터링 타겟에 합금 또는 도핑이 가능합니까?
예, 지르코늄 타겟은 이트륨 또는 니오븀과 같은 다른 원소와 합금하거나 도핑하여 특수 용도에 맞게 특성을 변경할 수 있습니다.
지르코늄 스퍼터링 타겟에는 백킹 플레이트가 필요합니까?
스퍼터링 시스템과 응용 분야에 따라 지르코늄 타겟을 구리 백킹 플레이트에 접착하여 열 방출과 안정성을 개선할 수 있습니다.
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