1100C 수직 진공로 및 플랜지 VBF-1200X-V9 설명
1100C 수직 진공로 및 플랜지는 직경 200mm x 190mm, 높이 425mm의 석영 튜브 챔버를 갖춘 수직 진공 밀폐로로, 스테인리스 스틸 플랜지와 밸브가 포함되어 있습니다. 이 로는 Torr 터보펌프가 장착되어 있어 10^-5 Torr의 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 반도체 웨이퍼(최대 8인치 직경)의 소결 또는 풀림을 위해 설계되었으며, 진공 또는 다양한 가스 분위기에서 작동하며 최대 1100℃의 온도를 달성할 수 있습니다.
1100C 수직 진공로 및 플랜지 VBF-1200X-V9 사양
특징
|
- 챔버 주위의 고순도 알루미나 섬유 단열재
- 대구경 파이프, 높은 진공도
|
기본 매개변수
|
- 최대 가열 온도: 1100℃ (< 1시간)
- 지속 가열 온도: 1000℃
- 권장 가열 속도: 10℃/분
- 가열 요소: Ni-Cr-Al 저항선
- 온도 계측기: K타입
|
전력
|
220V AC, 3.5 KW, 50/60Hz
|
석영 튜브 및 효과적인 가열
|
- 튜브 크기: 직경 200mm x 190mm, 높이 425mm
- 최대 하중: 40Kg
- 가열 면적: 직경 240mm x 높이 245mm
|
진공 플랜지
|
- 이중 고온 실리콘 O링과 물 냉각 재킷이 장착된 스테인리스 스틸 진공 플랜지
- 10-2 Torr 범위를 가진 기계식 진공 게이지(기본 액세서리 포함)
|
온도 제어
|
- NRTL 인증 디지털 온도 조절기가 포함됨
- 비례-적분-미분 제어(PID 제어) 및 자동 조정 기능
- 램핑, 냉각 및 주거 단계가 포함된 50개 세그먼트 프로그래밍
- 내장 과열 경고 및 온도 센서 고장 경고
- 온도 제어 정확도 +/- 1ºC
- PC 연결을 위한 기본 DB9 통신 포트 포함
- 추가 비용으로 +/-0.1℃ 정확도의 Eurotherm 온도 조절기 제공 가능
|
전체 치수
|
500mm L * 530mm W * 880mm H
|
순중량
|
70kg
|
보증
|
- 1년 한정 보증 및 평생 지원.
- 주의: 부식성 및 산성 가스를 사용으로 인한 모든 손상은 SAM 1년 한정 보증의 적용을 받지 않습니다.
|
인증
|
- CE 인증
- NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용에 따라 제공 가능.
|
1100C 수직 진공로 및 플랜지 VBF-1200X-V9 응용 분야
- 재료 과학 및 공학: 세라믹, 금속 및 복합 재료와 같은 고급 재료의 합성, 풀림 및 열처리 작업에 사용됩니다. 이는 연구 및 개발 목적을 위한 재료의 미세 구조 및 특성을 정밀하게 제어할 수 있도록 합니다.
- 반도체 가공: 반도체 소자의 제작 및 가공을 위해 사용되며, 풀림, 산화, 확산 및 증착 과정을 포함합니다. 청정하고 높은 진공 환경에서 운영하여 반도체 재료의 순도와 무결성을 보장합니다.
- 전자기기 제조: 반도체 웨이퍼의 풀림, 박막 트랜지스터의 제작 및 포장 과정을 포함한 전자 부품 및 소자의 생산에 이용됩니다.
- 태양 전지 제작: 태양 전지 및 태양광 장치의 생산에 사용되며, 최적의 성능과 효율성을 위한 풀림 및 도핑 과정을 포함합니다.
1100C 수직 진공로 및 플랜지 VBF-1200X-V9 포장
우리의 1100C 수직 진공로 및 플랜지 VBF-1200X-V9는 원래 상태에서 제품의 품질을 보존하기 위해 저장 및 운송 중에 신중하게 처리됩니다.