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| 카탈로그 번호. | IF5686 |
| 항목 번호 | KSL-1100X-L-VT |
| 작동 온도 | 1000℃ 연속 |
| 작동 온도 | ≤ 1100℃, ≤1시간 |
1100C 수직로는 고진공 응용을 위해 설계된 상부 하역형 두 구역로로, 최대 작동 온도는 1,200도입니다. Stanford Advanced Materials (SAM)은 고품질 챔버 고진공로 제조 및 공급에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.
관련 제품: 급속 냉각 기능이 있는 1200C 하부 하역형 진공로 VBF-1200X-E8, 800C 챔버 고진공로 VBF-800X-H, 플랜지가 부착된 1100C 수직형 진공로 VBF-1200X-V9
1100C 수직로는 Ø200ר190×H425 mm의 석영관 챔버를 갖춘 수직 진공 밀봉로입니다. 스테인리스 스틸 플랜지와 밸브가 포함되어 있습니다. 이 로타는 Torr 터보펌프가 장착되어 있어 10^-5 Torr의 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 반도체 웨이퍼(최대 8인치 지름)의 칼신화 또는 어닐링을 위해 설계되었으며, 진공 또는 다양한 가스 분위기에서 작동하여 최대 1100°C까지 도달할 수 있습니다.
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특징 |
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기본 매개변수 |
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전원 |
220V AC, 7.5 KW, 50Hz |
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온도 제어 |
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전체 치수 |
980mm L * 730mm W * 880 mm H |
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순 중량 |
125 kg |
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보증 |
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인증 |
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저희 1100C 수직로 KSL-1100X-L-VT 는 제품의 원래 상태에서 품질을 유지하기 위해 보관 및 운송 중에 주의 깊게 처리됩니다.
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특징 |
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기본 매개변수 |
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전력 |
220V AC, 7.5 KW, 50Hz |
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온도 제어 |
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전체 치수 |
980mm L * 730mm W * 880 mm H |
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순중량 |
125 kg |
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보증 |
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인증 |
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*위 제품 정보는 이론적인 데이터를 기반으로 하며 참고용입니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.
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