단종 IF5726 (단종) 950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

카탈로그 번호.	IF5726
항목 번호	OTF-1200X-RTP-II-CSS-300
작동 온도	950℃

단종

950C CSS 및 RTP 용광로는 12인치 직경의 웨이퍼에 대해 밀접 공간 승화(CSS) 필름 코팅을 위해 특별히 설계된 신속 열 처리(RTP) 용광로입니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 고품질 RTP 용광로의 제조 및 공급에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

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특징	10^-5 토르의 진공 레벨을 달성하는 스테인리스 스틸로 제작된 20인치 ID 진공 챔버. 열 분포를 최적화하기 위해 챔버 내부에 전략적으로 배치된 두 개의 12인치 적외선(IR) 히팅 플레이트. ±0.1℃의 온도 정확성을 보장하는 Eurotherm 정밀 온도 제어기. 모든 처리 매개변수에 대한 종합적인 제어가 가능한 터치 스크린 컴퓨터.
기본 매개변수	최대 가열 온도: 950℃ 두 히터 간 최대 온도 차이: ≤ 300℃ 최대 가열 속도: 8℃/s 최대 냉각 속도: <20℃/s
전원	208 - 240VAC, 3상, 50/60 Hz 60kw
진공 챔버	챔버 치수: ID 500mm x H 460mm 관찰을 용이하게 하기 위해 제작된 두 개의 60mm 지름의 석영 창. 고진공 하에서 증발원을 차단하기 위한 공기 밀폐 슬라이딩 배플이 내장되어 있습니다. 정확한 진공 측정을 보장하는 내식성 정밀 디지털 진공 게이지가 기본으로 제공됩니다. 선택적 진공 펌프: 터보펌프로 10-5 토르 또는 기계식 펌프로 10-2 토르.
히터 및 샘플 홀더	챔버 상부 및 하부에 위치한 두 개의 IR 히터, 2-25 mm의 조정 가능한 간격. 히터는 스테인리스 스틸로 제작되었으며, 열 단열을 위한 물 냉각 자켓이 장착되어 있습니다. 상부 히터 내에 내장된 12인치 직경의 원형 웨이퍼 홀더. 히터의 온도를 보다 균일하게 하기 위해 그래파이트 판이 IR 히터 위에 배치되었습니다. 상부 샘플 홀더는 1-10 RPM의 조정 가능한 속도로 회전 가능합니다. 히터 냉각을 위한 58L/min 순환수 냉각기가 포함되어 있습니다.
제어 시스템	두 개의 Eurotherm 3000 디지털 온도 제어기가 24 세그먼트 프로그래밍을 제공하여 상부 및 하부 히터를 독립적으로 제어하며, +/- 0.1℃의 정확도를 갖습니다. 온도 프로파일, 진공 압력, 회전 속도 및 플랜지의 상승 등의 모든 작업은 PLC를 통해 터치 스크린 컴퓨터로 제어됩니다. 컴퓨터는 온도 및 진공 프로파일을 표시하고 10개의 사전 설정된 처리 프로그램을 시작할 수 있습니다.
순중량	~500 kg
치수	L 1450 X W 1250 X H 2100 mm
보증	1년 제한 보증 및 평생 지원. 주의: 부식성 및 산성 가스 사용으로 인한 손상은 Stanford Advanced Materials의 1년 제한 보증 범위에 포함되지 않습니다.
인증	CE 인증 NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공 가능합니다.

특징	스테인리스 스틸로 제작된 직경 20인치 진공 챔버는 터보펌프를 사용하여 10^-5 torr의 진공 수준에 도달합니다. 챔버 내에 최적의 열 분포를 위해 전략적으로 배치된 두 개의 12인치 적외선(IR) 히팅 플레이트. 온도 정확도를 ±0.1℃로 보장하는 Eurotherm 정밀 온도 조절기. 모든 처리 매개변수를 포괄적으로 제어할 수 있는 터치스크린 컴퓨터.
기본 매개변수	최대 가열 온도: 950℃ 두 히터 간 최대 온도 차: ≤ 300℃ 최대 가열 속도: 8℃/s 최대 냉각 속도: <20℃/s
전원	208 - 240VAC, 3상, 50/60 Hz 60kW
진공 챔버	챔버 치수: ID 500mm x H 460mm 쉬운 관찰을 위해 설계된 두 개의 60mm 직경의 석영 창. 고진공 하에서도 증발원을 차단하기 위한 에어타이트 슬라이딩 배플이 내장되어 있습니다. 정밀 부식 방지 디지털 진공 게이지가 기본으로 제공되어 정확한 진공 측정을 보장합니다. 선택 사양: 터보펌프를 이용한 10^-5 torr 또는 기계 펌프를 이용한 10^-2 torr의 진공 펌프.
히터 및 샘플 홀더	챔버 상단 및 하단에 위치한 두 개의 IR 히터로 조정 가능한 간격 2 - 25 mm. 스테인리스 스틸로 제작된 히터는 열 단열을 위해 수냉 재킷을 갖추고 있습니다. 서브스트레이트를 고정하기 위한 상단 히터에 내장된 12인치 직경의 원형 웨이퍼 홀더. 히터 위에 배치된 그래파이트 플레이트는 난방을 더 균일하게 만듭니다. 상단 샘플 홀더는 1 - 10 RPM의 조정 가능한 속도로 회전할 수 있습니다. 히터 쿨링을 위한 58L/min 순환 수냉 기기가 포함됩니다.
제어 시스템	±0.1℃ 정확도로 상단과 하단 히터를 독립적으로 제어할 수 있는 24세그먼트 프로그래밍 가능한 두 개의 Eurotherm 3000 디지털 온도 조절기. 온도 프로파일, 진공 압력, 회전 속도 및 플랜지 상승 등의 모든 작업은 PLC를 통해 터치 스크린 컴퓨터로 제어됩니다. 컴퓨터는 온도 및 진공 프로파일을 표시하고, 10개의 사전 설정된 처리 프로그램을 시작할 수 있습니다.
순 중량	약 500 kg
치수	길이 1450 X 너비 1250 X 높이 2100 mm
보증	제한 보증 1년 및 평생 지원. 주의: 부식성 및 산성 가스를 사용하여 발생한 손상은 SAM의 1년 제한 보증 적용 제외.
인증	CE 인증 NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공됩니다.

단종 IF5726 (단종) 950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

단종

950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 설명

950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 사양

950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 응용 분야

950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 포장

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