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IF5726 (단종) 950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

단종 IF5726 (단종) 950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

카탈로그 번호.	IF5726
항목 번호	OTF-1200X-RTP-II-CSS-300
작동 온도	950℃

단종

950C CSS 및 RTP 용광로는 12인치 직경의 웨이퍼에 대해 밀접 공간 승화(CSS) 필름 코팅을 위해 특별히 설계된 신속 열 처리(RTP) 용광로입니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 고품질 RTP 용광로의 제조 및 공급에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

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950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 설명

950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300는 최대 12인치 직경의 웨이퍼에 대한 근접 간격 승화(CSS) 필름 코팅을 위해 특별히 설계된 최첨단 신속 열처리(RTP) 용광로입니다. 이 용광로는 최대 작업 온도 950℃에 도달할 수 있으며, 독립적으로 최대 20℃/초의 빠른 가열 속도를 달성할 수 있는 두 개의 할로겐 히터 그룹(상부 및 하부)을 특징으로 합니다. 상부 샘플 홀더는 회전이 가능하여 1~10 RPM의 속도로 균일한 필름 코팅을 용이하게 합니다.

이 용광로는 카드뮴 텔루라이드(CdTe), 황화물 및 페로브스카이트와 같은 태양 전지용 차세대 박막 개발에 특히 효과적입니다. 또한 12인치 반도체 웨이퍼의 어닐링에도 적합합니다.

950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 사양

특징	10^-5 토르의 진공 레벨을 달성하는 스테인리스 스틸로 제작된 20인치 ID 진공 챔버. 열 분포를 최적화하기 위해 챔버 내부에 전략적으로 배치된 두 개의 12인치 적외선(IR) 히팅 플레이트. ±0.1℃의 온도 정확성을 보장하는 Eurotherm 정밀 온도 제어기. 모든 처리 매개변수에 대한 종합적인 제어가 가능한 터치 스크린 컴퓨터.
기본 매개변수	최대 가열 온도: 950℃ 두 히터 간 최대 온도 차이: ≤ 300℃ 최대 가열 속도: 8℃/s 최대 냉각 속도: <20℃/s
전원	208 - 240VAC, 3상, 50/60 Hz 60kw
진공 챔버	챔버 치수: ID 500mm x H 460mm 관찰을 용이하게 하기 위해 제작된 두 개의 60mm 지름의 석영 창. 고진공 하에서 증발원을 차단하기 위한 공기 밀폐 슬라이딩 배플이 내장되어 있습니다. 정확한 진공 측정을 보장하는 내식성 정밀 디지털 진공 게이지가 기본으로 제공됩니다. 선택적 진공 펌프: 터보펌프로 10-5 토르 또는 기계식 펌프로 10-2 토르.
히터 및 샘플 홀더	챔버 상부 및 하부에 위치한 두 개의 IR 히터, 2-25 mm의 조정 가능한 간격. 히터는 스테인리스 스틸로 제작되었으며, 열 단열을 위한 물 냉각 자켓이 장착되어 있습니다. 상부 히터 내에 내장된 12인치 직경의 원형 웨이퍼 홀더. 히터의 온도를 보다 균일하게 하기 위해 그래파이트 판이 IR 히터 위에 배치되었습니다. 상부 샘플 홀더는 1-10 RPM의 조정 가능한 속도로 회전 가능합니다. 히터 냉각을 위한 58L/min 순환수 냉각기가 포함되어 있습니다.
제어 시스템	두 개의 Eurotherm 3000 디지털 온도 제어기가 24 세그먼트 프로그래밍을 제공하여 상부 및 하부 히터를 독립적으로 제어하며, +/- 0.1℃의 정확도를 갖습니다. 온도 프로파일, 진공 압력, 회전 속도 및 플랜지의 상승 등의 모든 작업은 PLC를 통해 터치 스크린 컴퓨터로 제어됩니다. 컴퓨터는 온도 및 진공 프로파일을 표시하고 10개의 사전 설정된 처리 프로그램을 시작할 수 있습니다.
순중량	~500 kg
치수	L 1450 X W 1250 X H 2100 mm
보증	1년 제한 보증 및 평생 지원. 주의: 부식성 및 산성 가스 사용으로 인한 손상은 Stanford Advanced Materials의 1년 제한 보증 범위에 포함되지 않습니다.
인증	CE 인증 NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공 가능합니다.

950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 응용 분야

950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300는 카드뮴 텔루라이드(CdTe), 황화물 및 페로브스카이트와 같은 태양 전지용 차세대 박막 개발에 특히 효과적입니다. 또한 12인치 반도체 웨이퍼의 어닐링에도 적합합니다.

950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 포장

우리의 950C CSS 및 RTP 용광로 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300는 제품의 품질을 원래 상태로 유지하기 위해 보관 및 운송 중에 신중하게 처리됩니다.

사양

특징	스테인리스 스틸로 제작된 직경 20인치 진공 챔버는 터보펌프를 사용하여 10^-5 torr의 진공 수준에 도달합니다. 챔버 내에 최적의 열 분포를 위해 전략적으로 배치된 두 개의 12인치 적외선(IR) 히팅 플레이트. 온도 정확도를 ±0.1℃로 보장하는 Eurotherm 정밀 온도 조절기. 모든 처리 매개변수를 포괄적으로 제어할 수 있는 터치스크린 컴퓨터.
기본 매개변수	최대 가열 온도: 950℃ 두 히터 간 최대 온도 차: ≤ 300℃ 최대 가열 속도: 8℃/s 최대 냉각 속도: <20℃/s
전원	208 - 240VAC, 3상, 50/60 Hz 60kW
진공 챔버	챔버 치수: ID 500mm x H 460mm 쉬운 관찰을 위해 설계된 두 개의 60mm 직경의 석영 창. 고진공 하에서도 증발원을 차단하기 위한 에어타이트 슬라이딩 배플이 내장되어 있습니다. 정밀 부식 방지 디지털 진공 게이지가 기본으로 제공되어 정확한 진공 측정을 보장합니다. 선택 사양: 터보펌프를 이용한 10^-5 torr 또는 기계 펌프를 이용한 10^-2 torr의 진공 펌프.
히터 및 샘플 홀더	챔버 상단 및 하단에 위치한 두 개의 IR 히터로 조정 가능한 간격 2 - 25 mm. 스테인리스 스틸로 제작된 히터는 열 단열을 위해 수냉 재킷을 갖추고 있습니다. 서브스트레이트를 고정하기 위한 상단 히터에 내장된 12인치 직경의 원형 웨이퍼 홀더. 히터 위에 배치된 그래파이트 플레이트는 난방을 더 균일하게 만듭니다. 상단 샘플 홀더는 1 - 10 RPM의 조정 가능한 속도로 회전할 수 있습니다. 히터 쿨링을 위한 58L/min 순환 수냉 기기가 포함됩니다.
제어 시스템	±0.1℃ 정확도로 상단과 하단 히터를 독립적으로 제어할 수 있는 24세그먼트 프로그래밍 가능한 두 개의 Eurotherm 3000 디지털 온도 조절기. 온도 프로파일, 진공 압력, 회전 속도 및 플랜지 상승 등의 모든 작업은 PLC를 통해 터치 스크린 컴퓨터로 제어됩니다. 컴퓨터는 온도 및 진공 프로파일을 표시하고, 10개의 사전 설정된 처리 프로그램을 시작할 수 있습니다.
순 중량	약 500 kg
치수	길이 1450 X 너비 1250 X 높이 2100 mm
보증	제한 보증 1년 및 평생 지원. 주의: 부식성 및 산성 가스를 사용하여 발생한 손상은 SAM의 1년 제한 보증 적용 제외.
인증	CE 인증 NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공됩니다.

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