단종 IF5727 (단종) 800C CSS 및 RTP 용광로 RTP-II-5-R

카탈로그 번호.	IF5727
항목 번호	FURNACE RTP-II-5-R
작동 온도	800℃

단종

800C CSS 및 RTP 용광로는 근접 간격 승화를 위한 정밀한 신속 열 처리(RTP) 용광로이며, Stanford Advanced Materials (SAM)는 고품질 RTP 용광로의 제조 및 공급에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

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특징	스테인리스 스틸로 제작된 20인치 ID 진공 챔버로, 터보펌프를 사용하여 10^-5 토르까지 진공 수준을 달성합니다. 챔버 내 최적의 열 분포를 위한 두 개의 12인치 적외선(IR) 가열판이 전략적으로 배치되어 있습니다. 온도 정확도가 ±0.1도인 Eurotherm 정밀 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 모든 처리 매개변수에 대한 종합적인 제어가 가능한 터치스크린 컴퓨터가 포함되어 있습니다.
기본 매개변수	최대 가열 온도: 950℃ 두 히터 간 최대 온도 차: ≤ 300℃ 최대 가열 속도: 8℃/s 최대 냉각 속도: <20℃/s
전원	208 - 240VAC, 3상, 50/60 Hz 60kw
진공 챔버	챔버 치수: ID 500mm x H 460mm 손쉬운 관측을 위한 두 개의 60mm 직경 석영 창이 장착되어 있습니다. 고진공 하에서 증발 원인을 차단하는 공기 차단 슬라이딩 배플이 내장되어 있습니다. 정밀 내식성 디지털 진공 게이지가 표준으로 제공되어 정확한 진공 측정을 보장합니다. 옵션 진공 펌프: 터보펌프를 사용하여 10^-5 토르 또는 기계 펌프를 사용하여 10^-2 토르 가능
히터 및 샘플 홀더	챔버 상단과 하단에 위치한 두 개의 IR 히터는 2 - 25 mm의 조정 가능한 간격을 갖추고 있습니다. 히터는 열 절연을 유지하기 위해 물이 차가운 재킷으로 제작된 스테인리스 스틸입니다. 서브스트레이트를 고정하기 위해 상단 히터에 내장된 12인치 직경의 원형 웨이퍼 홀더가 있습니다. 히팅을 더욱 균일하게 하기 위해 IR 히터 위에 흑연판이 배치되어 있습니다. 상단 샘플 홀더는 1 - 10 RPM의 조정 가능한 속도로 회전할 수 있습니다. 히터 냉각을 위한 58L/min 순환수 쿨러가 포함되어 있습니다.
제어 시스템	24세그먼트 프로그래밍이 가능한 두 개의 Eurotherm 3000 디지털 온도 컨트롤러가 상단과 하단 히터의 독립 제어를 제공하며 ±0.1도 정확도를 보장합니다. 온도 프로필, 진공 압력, 회전 속도 및 플랜지의 상승과 같은 모든 작업은 PLC를 통해 터치스크린 컴퓨터로 제어됩니다. 컴퓨터는 온도 및 진공 프로필을 표시할 수 있으며, 10개의 사전 설정된 처리 프로그램을 시작할 수 있습니다.
순중량	약 500 kg
치수	L 1450 X W 1250 X H 2100 mm
보증	평생 지원과 함께 1년 간의 제한 보증. 주의: 부식성 및 산성 가스를 사용하는 경우 발생하는 모든 손상은 Stanford Advanced Materials의 1년 제한 보증 적용 범위에 포함되지 않습니다.
인증	CE 인증 NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 가능합니다.

기능	스테인리스 스틸로 제작된 20인치 ID 진공 챔버는 터보펌프를 사용하여 최대 10^-5 토르의 진공 수준을 달성합니다. 챔버 내에서 열 분포 최적화를 위해 전략적으로 배치된 두 개의 12인치 적외선( IR) 가열판이 있습니다. 온도 정확도를 ±0.1℃로 보장하는 Eurotherm 정밀 온도 컨트롤러가 포함됩니다. 모든 처리 매개변수를 포괄적으로 제어할 수 있는 터치스크린 컴퓨터가 제공됩니다.
기본 매개변수	최대 가열 온도: 950℃ 두 개의 히터 간 최대 온도 차: ≤ 300℃ 최대 가열 속도: 8℃/s 최대 냉각 속도: <20℃/s
전원	208 - 240VAC, 3상, 50/60 Hz 60kw
진공 챔버	챔버 치수: ID 500mm x H 460mm 용이한 관찰을 위해 두 개의 60mm 직경의 석영 창이 장착되어 있습니다. 고진공 상태에서 증발원을 차단하는 공기 밀폐형 슬라이딩 배플이 내장되어 있습니다. 정확한 진공 측정을 보장하는 정밀 방청 디지털 진공 게이지가 기본 제공됩니다. 옵션 진공 펌프: 터보펌프로 10^-5 토르 또는 기계 펌프로 10^-2 토르 가능
가열기 및 샘플 홀더	챔버 최상단과 최하단에 위치한 두 개의 IR 가열기가 있으며 2 - 25 mm 사이의 간격을 조절할 수 있습니다. 가열기는 스테인리스 스틸로 제작되었으며, 열 절연을 위한 물 냉각 재킷이 있습니다. 서브스트레이트를 보관하기 위한 12인치 직경 원형 웨이퍼 홀더가 상단 가열기 내장되어 있습니다. 더 고른 가열을 위해 흑연판이 IR 가열기 상단에 배치되어 있습니다. 상단 샘플 홀더는 1 - 10 RPM의 조절 가능한 속도로 회전할 수 있습니다. 가열기를 냉각하기 위한 58L/min 순환 수조가 포함되어 있습니다.
제어 시스템	독립적으로 상단 및 하단 가열기를 제어할 수 있는 24세그먼트 프로그래밍 가능한 두 개의 Eurotherm 3000 디지털 온도 컨트롤러가 포함되어 있으며, 정밀도는 +/- 0.1ºC입니다. 온도 프로파일, 진공 압력, 회전 속도 및 플랜지 리프팅과 같은 모든 작업은 PLC를 통해 터치스크린 컴퓨터로 제어됩니다. 컴퓨터는 온도 및 진공 프로파일을 표시하고 10개의 미리 설정된 처리 프로그램을 시작할 수 있습니다.
순중량	약 500 kg
치수	L 1450 X W 1250 X H 2100 mm
보증	1년 제한 보증과 평생 지원이 포함됩니다. 주의: 부식성 및 산성 가스를 사용으로 인해 발생한 손상은 Stanford Advanced Materials의 1년 제한 보증의 적용을 받지 않습니다.
인증	CE 인증 NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공됩니다.

단종 IF5727 (단종) 800C CSS 및 RTP 용광로 RTP-II-5-R

단종

800C CSS 및 RTP 퍼니스 RTP-II-5-R 설명

800C CSS 및 RTP 퍼니스 RTP-II-5-R 사양

800C CSS 및 RTP 퍼니스 RTP-II-5-R 응용 분야

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