1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2” Tube Furnace GSL-1200X-50-MWPE 설명
1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2” Tube Furnace GSL-1200X-50-MWPE는 2.45GHz 마이크로웨이브 발생기를 히팅 모듈 및 2인치 외경의 석영 튜브와 결합한 마이크로웨이브 보조 화학 증기 증착(MPCVD) 튜브 푸르니스입니다. 이 설정은 약 4.5 torr의 진공 하에서 800℃에서 1200℃까지 안정적인 플라즈마 생성을 보장하는 진공 밀폐형 플랜지 어셈블리를 제공합니다. 이 퍼니스는 1400W, 2.45 GHz 마이크로웨이브 챔버를 특징으로 합니다.
안전을 고려하여 제작되었으며, 마이크로웨이브 방사선으로부터 보호하기 위해 스테인리스 스틸 및 알루미늄 쉴딩이 포함되어 있습니다. 마이크로웨이브 챔버 내 히팅 모듈에서 최대 작업 온도 1200℃에 도달하기 위한 20℃/분의 빠른 가열 기능과 정확한 온도 제어를 제공합니다. ±1℃ 내에서 정확도를 유지하는 30 세그먼트 프로그래머블 컨트롤러가 포함되어 있습니다.
1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2” Tube Furnace GSL-1200X-50-MWPE 사양
특징
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- 1400W 2.45 GHz 마이크로웨이브 챔버
- 마이크로웨이브 방사선으로부터 보호하는 스테인리스 스틸 및 알루미늄 쉴드
- 마이크로웨이브 챔버 내 설치된 히팅 모듈
- ±1℃ 이내에서 정밀 온도 제어 가능, 30 세그먼트 프로그래머블
- 최대 에너지 절약을 위한 진공 캐스팅 열 절연재
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마이크로웨이브
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- 주파수: 2.45 GHz ±25 MHz
- 출력 전력: 1400W
- 마이크로웨이브 누출: 1미터 거리에서 ≤ 3 mW/cm²
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히팅 모듈 및 처리 튜브
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- 80mm 내경의 Ni-Cr-Al 와이어 히팅 코인이 섬유 알루미나 모듈 내에 설치되어 있습니다.
- 히팅 코일이 마이크로웨이브 챔버 내에 배치되어 있습니다.
- 2인치 석영 튜브(OD 50 x ID 44 x L 600 mm)가 히팅 모듈 및 마이크로웨이브 챔버 내에 삽입되어 플라즈마를 생성합니다.
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전원
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2000W, 208-240VAC, 단상, 50/60Hz
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플랜지 및 진공
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- 석영 튜브를 밀폐하는 데 필요한 진공 플랜지 쌍이 포함되어 있습니다.
- KF25 진공 포트 및 바늘 밸브가 장착된 1/4 가스 흡입 및 배출구가 플랜지에 내장되어 있습니다.
- 진공 제어를 위한 디지털 진공 게이지가 포함되어 있습니다.
- 최대 진공 수준: 드라이 펌프에 의해 10-2 torr, 터보펌프에 의해 10-5 torr.
- 펌프는 포함되지 않습니다.
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작동 온도
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- 최대 온도: 1200℃ (<30분); ≤1100℃ 연속.
- 최소 온도: 800℃
- 가열 속도: 1 ~ 20℃/분
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온도 제어기
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- 가열 속도, 유지 온도 및 시간, 냉각 속도를 위한 30 세그먼트 프로그래머블
- SCR 온도 제어
- 과열 및 열 전극 파손 보호
- 제어 정확도 ±1.0℃
- 플랜지를 통해 삽입된 K형 열 전극
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순중량
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30kg
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치수
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마이크로웨이브: 560(L) x 410(W) x 340(H) mm
튜브 및 플랜지 포함 총 깊이: 780 mm
제어기: 600(L) x 520(W) x 265(H) mm
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보증
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- 1년 제한 보증과 평생 지원.
- 소모품(크루시블, 히팅 요소 및 열 절연재 포함)은 보증에 포함되지 않습니다.
- 주의: 부식성 및 산성 가스를 사용하여 발생한 손상은 Stanford Advanced Materials(SAM)의 1년 제한 보증 범위에 포함되지 않습니다.
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인증
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- CE 인증
- NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 가능합니다.
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1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2” Tube Furnace GSL-1200X-50-MWPE 응용 분야
- 재료의 합성과 처리: 이 퍼니스는 세라믹, 유리 및 복합재와 같은 복잡한 재료의 합성에 우수합니다.
- 세라믹 및 금속 소결: 마이크로웨이브 퍼니스의 빠르고 고온 기능은 세라믹 및 금속 분말의 소결에 적합합니다.
- 연구 및 개발: 마이크로웨이브 튜브 퍼니스는 새로운 재료를 개발하고 제어된 조건에서 열처리 프로세스를 연구하기 위해 학술 및 산업 연구 실험실에서 널리 사용됩니다.
1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2” Tube Furnace GSL-1200X-50-MWPE 포장
저희 1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2” Tube Furnace GSL-1200X-50-MWPE는 제품의 원래 상태를 유지하기 위해 저장 및 운송 중에 신중하게 처리됩니다.