ST10712 플래티넘 로터리 스퍼터링 타겟 Pt 타겟

카탈로그 번호.	ST10712
재료	플래티넘
순도	≥99.9% 또는 사용자 지정
양식	Target
모양	로터리

백금 로터리 스퍼터링 타겟 Pt 타겟은 일관된 스퍼터링 성능을 위해 엄격하게 제어된 구성과 미세 구조로 생산됩니다. Stanford Advanced Materials(SAM)에서 제조한 이 타겟은 엄격한 야금 분석과 화학 분석을 거쳐 순도와 균일성을 확인합니다. SAM은 첨단 현미경 검사 및 조성 분석을 통해 공정 중 재료 파라미터를 모니터링하여 타겟이 물리적 기상 증착 시스템에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하는지 확인합니다.

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FAQ

미세 구조 균일성은 스퍼터링 성능에 어떤 영향을 미칩니까?

균일한 미세 구조는 스퍼터링 중 침식의 국부적 변화를 최소화하여 일관된 필름 증착 속도를 유지하고 입자 발생을 줄입니다. 정기적인 야금 검사는 이러한 균일성을 보장하여 증착 애플리케이션에서 예측 가능한 성능을 제공합니다.

스퍼터링 전에 표면 오염을 방지하기 위해 어떤 조치를 취할 수 있습니까?

초음파 세척 및 플라즈마 에칭을 포함한 스퍼터링 전 세척 절차는 오염 위험을 줄여줍니다. 습도가 낮고 미립자 노출을 최소화하는 통제된 보관 환경을 유지하면 사용 전까지 타겟의 표면 무결성을 보존하는 데도 도움이 됩니다.

이 타겟을 제작하는 동안 어떤 품질 관리 프로세스가 적용되나요?

타겟은 종합적인 화학 분석과 현미경 검사를 거쳐 순도와 균일성을 확인합니다. 공정 중 밀도 및 위상 측정을 수행하여 재료가 최적의 스퍼터링 성능에 필수적인 엄격한 조성 및 미세 구조 기준을 충족하는지 확인합니다.

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특성	Value
Form	Target
재료	플래티넘
치수	맞춤형
순도	≥99.9% 또는 맞춤형
밀도(g/cm³)	~21.45
융점(°C)	~1768
분자량	195.08 g/mol
전기 저항	10.6 µΩ-cm
열 전도성	71.6 W/m-K

특징	가치
양식	대상
재료	플래티넘
치수	맞춤형
순도	≥99.9% 또는 맞춤형
밀도(g/cm³)	~21.45
융점(°C)	~1768
분자량	195.08 g/mol
전기 저항	10.6 µΩ-cm
열 전도성	71.6 W/m-K

ST10712 플래티넘 로터리 스퍼터링 타겟 Pt 타겟

플래티넘 로터리 스퍼터링 타겟 Pt 타겟 설명

백금 로터리 스퍼터링 타겟 Pt 타겟 특성

플래티넘 로터리 스퍼터링 타겟 Pt 타겟 응용 분야

백금 로터리 스퍼터링 타겟 Pt 타겟 포장

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미세 구조 균일성은 스퍼터링 성능에 어떤 영향을 미칩니까?

스퍼터링 전에 표면 오염을 방지하기 위해 어떤 조치를 취할 수 있습니까?

이 타겟을 제작하는 동안 어떤 품질 관리 프로세스가 적용되나요?

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