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| 카탈로그 번호. | ST0035 |
| 구성 | Pt |
| CAS 번호 | 7440-06-4 |
| 순도 | ≥99% |
| 모양 | 디스크 또는 맞춤형 |
| 지름 | 2", 3", 4", 5", 6" 또는 맞춤형 |
| 두께 | 0.25", 0.125" 또는 맞춤형 |
| 채권 유형 | 구리 또는 맞춤형 |
| 동의어 | 백금 스퍼터링 타겟, Pt 타겟 |
Stanford Advanced Materials(SAM)는 까다로운 박막 증착 공정을 위해 설계된 고순도 백금(Pt) 스퍼터링 타겟(≥99%)을 제공합니다. 백금은 뛰어난 화학적 안정성과 산화 저항성으로 반도체 제조, 마이크로 일렉트로닉스 및 첨단 연구 분야에서 선호되는 소재입니다. 당사의 백금 스퍼터링 타겟은 진공 용융 및 정밀 가공을 통해 제조되어 미세 입자 구조와 고밀도를 달성하여 일관된 스퍼터링 성능과 균일한 필름 증착을 보장합니다. 표준 디스크 형상 또는 맞춤형 구성으로 제공되며, DC 스퍼터링 중 최적화된 열 관리를 위한 구리 본딩 옵션이 제공됩니다.
A: 동일한 소재입니다. "Pt"는 플래티넘의 화학 기호입니다. 두 용어 모두 당사의 고순도 백금 스퍼터링 타겟을 나타냅니다.
A: 맞춤형 사이즈의 일반적인 리드 타임은 주문 확인 후 2~3주입니다. 표준 디스크 크기(2"-6")는 더 빨리 배송될 수 있습니다. 현재 재고 현황은 문의해 주세요.
A: 더 높은 출력 밀도에서 DC 스퍼터링을 하는 경우 열 관리를 개선하고 타겟 균열을 방지하기 위해 인듐 또는 엘라스토머를 사용하여 구리 백킹 플레이트에 본딩하는 것이 좋습니다.
A: 순도 99%는 대부분의 광학 및 장식용 코팅에 적합합니다. 미량 원소가 필름 성능에 영향을 미칠 수 있는 반도체 및 고급 연구 분야에는 99.99%(4N) 순도를 권장합니다.
A: 스퍼터링 속도는 특정 도구와 파라미터에 따라 다릅니다. 당사의 기술 팀이 목표 크기와 전원 공급 장치에 따라 참조 속도를 제공할 수 있습니다. 문의 시 시스템 세부 정보를 포함하시기 바랍니다.
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