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ST0035 플래티넘(Pt) 스퍼터링 타겟

카탈로그 번호. ST0035
구성 Pt
CAS 번호 7440-06-4
순도 ≥99%
모양 디스크 또는 맞춤형
지름 2", 3", 4", 5", 6" 또는 맞춤형
두께 0.25", 0.125" 또는 맞춤형
채권 유형 구리 또는 맞춤형
동의어 백금 스퍼터링 타겟, Pt 타겟

Stanford Advanced Materials(SAM)는 까다로운 박막 증착 공정을 위해 설계된 고순도 백금(Pt) 스퍼터링 타겟(≥99%)을 제공합니다. 백금은 뛰어난 화학적 안정성과 산화 저항성으로 반도체 제조, 마이크로 일렉트로닉스 및 첨단 연구 분야에서 선호되는 소재입니다. 당사의 백금 스퍼터링 타겟은 진공 용융 및 정밀 가공을 통해 제조되어 미세 입자 구조와 고밀도를 달성하여 일관된 스퍼터링 성능과 균일한 필름 증착을 보장합니다. 표준 디스크 형상 또는 맞춤형 구성으로 제공되며, DC 스퍼터링 중 최적화된 열 관리를 위한 구리 본딩 옵션이 제공됩니다.

관련 제품 로듐(Rh) 스퍼터링 타겟, 팔라듐(Pd) 스퍼터링 타겟, 이리듐(Ir) 스퍼터링 타겟

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사양
Sds
리뷰

FAQ

Q: 플래티넘과 백금 스퍼터링 타겟의 차이점은 무엇인가요?

A: 동일한 소재입니다. "Pt"는 플래티넘의 화학 기호입니다. 두 용어 모두 당사의 고순도 백금 스퍼터링 타겟을 나타냅니다.

Q: 맞춤형 플래티넘 스퍼터링 타겟의 리드 타임은 어떻게 되나요?

A: 맞춤형 사이즈의 일반적인 리드 타임은 주문 확인 후 2~3주입니다. 표준 디스크 크기(2"-6")는 더 빨리 배송될 수 있습니다. 현재 재고 현황은 문의해 주세요.

Q: 플래티넘 타겟을 백킹 플레이트에 본딩하는 것을 권장하나요?

A: 더 높은 출력 밀도에서 DC 스퍼터링을 하는 경우 열 관리를 개선하고 타겟 균열을 방지하기 위해 인듐 또는 엘라스토머를 사용하여 구리 백킹 플레이트에 본딩하는 것이 좋습니다.

질문: 순도 99%와 99.99%의 Pt 타겟의 차이점은 무엇인가요?

A: 순도 99%는 대부분의 광학 및 장식용 코팅에 적합합니다. 미량 원소가 필름 성능에 영향을 미칠 수 있는 반도체 및 고급 연구 분야에는 99.99%(4N) 순도를 권장합니다.

Q: 플래티넘 타겟의 일반적인 스퍼터링 속도를 알려주실 수 있나요?

A: 스퍼터링 속도는 특정 도구와 파라미터에 따라 다릅니다. 당사의 기술 팀이 목표 크기와 전원 공급 장치에 따라 참조 속도를 제공할 수 있습니다. 문의 시 시스템 세부 정보를 포함하시기 바랍니다.

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    순도

    99.9%

    • 99.9%
    • 99.5%
    • 99.99%
    • 99.999%
    • Other
    지름

    2''

    • 2''
    • 3''
    • 4''
    • 5''
    • 6''
    • 기타
    • Other
    두께

    0.25''

    • 0.25''
    • 0.125''
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