ST11181 크롬 알루미늄 스퍼터링 타겟, CrAl 타겟

카탈로그 번호.	ST11181
구성	Cr, Al
순도	≥99.8% 이상 또는 사용자 지정
양식	Target
모양	원형, 직사각형 등
치수	사용자 지정

크롬 알루미늄 스퍼터링 타겟, CrAl 타겟은 정밀한 박막 증착 공정을 위해 설계된 스퍼터링 재료입니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 첨단 아크 용융 및 진공 처리 기술을 사용하여 원소 조성을 엄격하게 모니터링하는 타겟을 생산합니다. 생산 공정에는 표면 균일성과 조성 일관성을 확인하기 위한 체계적인 주사 전자 현미경(SEM) 검사가 포함되어 있어 타겟이 산업용 애플리케이션에 대한 엄격한 기술 사양을 충족하는지 확인합니다.

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합금 구성이 스퍼터링 공정 성능에 어떤 영향을 미치나요?

타겟의 특정 크롬과 알루미늄 균형은 증착 속도와 필름 균일성에 영향을 미칩니다. 제어된 조성은 스퍼터링 중 변화를 최소화하며, 이는 미세 제조에서 일관된 스텝 커버리지를 달성하는 데 매우 중요합니다.

이 대상을 디포지션 시스템에 통합할 때 어떤 조치를 취해야 하나요?

냉각 및 마운팅 시스템이 대상의 열 특성과 호환되는지 확인하는 것이 중요합니다. 적절한 정렬 및 취급 프로토콜은 아크의 위험을 줄이고 일관된 필름 품질을 유지합니다. 자세한 통합 가이드라인은 소니에 문의하세요.

배송 전에 대상의 품질을 어떻게 확인하나요?

품질 검증에는 SEM을 이용한 표면 형태 검사 및 EDS를 통한 성분 분석이 포함됩니다. 이러한 테스트를 통해 합금의 균질성과 정밀도를 확인하여 타겟이 고성능 증착 공정의 기술적 요구 사항을 충족하는지 확인합니다.

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특성	값
구성 (Wt%)	Cr : Al=30:70, 50:50 또는 맞춤형
순도	≥99.8% 또는 맞춤형
형태	Target
모양	원형, 직사각형 등
밀도	2.98-4.55 g/cm3
열 전도성	120-150 W/m.K
본딩 유형	인듐, 엘라스토머
치수	맞춤형

속성	값
구성 (Wt%)	Cr : Al=30:70, 50:50 또는 맞춤형
순도	≥99.8% 또는 맞춤형
형태	Target
모양	원형, 직사각형 등
밀도	2.98-4.55 g/cm3
열 전도성	120-150 W/m.K
본딩 유형	인듐, 엘라스토머
치수	맞춤형

ST11181 크롬 알루미늄 스퍼터링 타겟, CrAl 타겟

크롬 알루미늄 스퍼터링 타겟, CrAl 타겟 설명

크롬 알루미늄 스퍼터링 타겟, CrAl 타겟 특성

크롬 알루미늄 스퍼터링 타겟, CrAl 타겟 응용 분야

크롬 알루미늄 스퍼터링 타겟, CrAl 타겟 포장

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이 대상을 디포지션 시스템에 통합할 때 어떤 조치를 취해야 하나요?

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