| 카탈로그 번호. | ST11181 |
| 구성 | Cr, Al |
| 순도 | ≥99.8% 이상 또는 사용자 지정 |
| 양식 | Target |
| 모양 | 원형, 직사각형 등 |
| 치수 | 사용자 지정 |
크롬 알루미늄 스퍼터링 타겟, CrAl 타겟은 정밀한 박막 증착 공정을 위해 설계된 스퍼터링 재료입니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 첨단 아크 용융 및 진공 처리 기술을 사용하여 원소 조성을 엄격하게 모니터링하는 타겟을 생산합니다. 생산 공정에는 표면 균일성과 조성 일관성을 확인하기 위한 체계적인 주사 전자 현미경(SEM) 검사가 포함되어 있어 타겟이 산업용 애플리케이션에 대한 엄격한 기술 사양을 충족하는지 확인합니다.
타겟의 특정 크롬과 알루미늄 균형은 증착 속도와 필름 균일성에 영향을 미칩니다. 제어된 조성은 스퍼터링 중 변화를 최소화하며, 이는 미세 제조에서 일관된 스텝 커버리지를 달성하는 데 매우 중요합니다.
냉각 및 마운팅 시스템이 대상의 열 특성과 호환되는지 확인하는 것이 중요합니다. 적절한 정렬 및 취급 프로토콜은 아크의 위험을 줄이고 일관된 필름 품질을 유지합니다. 자세한 통합 가이드라인은 소니에 문의하세요.
품질 검증에는 SEM을 이용한 표면 형태 검사 및 EDS를 통한 성분 분석이 포함됩니다. 이러한 테스트를 통해 합금의 균질성과 정밀도를 확인하여 타겟이 고성능 증착 공정의 기술적 요구 사항을 충족하는지 확인합니다.
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