베릴륨 평면 타겟 Be 설명
베릴륨 평면 타겟은 원소 베릴륨에서 유래된 독특한 물리적 및 화학적 특성의 조합으로 특징 지어지는 정밀 엔지니어링된 고순도 재료입니다. 이러한 타겟은 일반적으로 ≥99.95% (4N5 등급)의 초고순도 수준을 달성하며, 철, 알루미늄, 실리콘과 같은 미량 불순물이 고급 정제 방법인 구역 정제 또는 진공 증류를 통해 50ppm 이하로 철저히 관리됩니다. 이 재료의 예외적인 열전도도 (실온에서 200 W/(m·K))는 고출력 스퍼터링 과정에서 효율적인 열 방산을 보장하여 열 스트레스를 최소화하고 증착 안정성을 향상시킵니다.
안정적인 자기 보호 베릴륨 산화물 (BeO) 층(~5-10nm 두께)은 공기 노출 시 자발적으로 표면에 형성되어 온화한 환경 조건에서 부식 저항성을 향상시킵니다. 그러나 습기 또는 산성 환경에 장기간 노출될 경우 이 보호층이 손상될 수 있으며, 비활성 보관 솔루션이 필요합니다. 미세구조적으로, 타겟은 핫 이소타시 압축(HIP) 또는 분말 야금 방법을 통해 최적화되어 미세한 결정 크기 (<10μm)와 최소한의 기공률 (<0.1%)을 달성하며, 표면 거칠기는 다이아몬드 가공 또는 화학 기계 연마(CMP)를 통해 Ra < 0.5μm로 정제됩니다.
안전 프로토콜은 베릴륨의 고유 독성으로 인한 위험을 완화하기 위해 OSHA 1910.1024 및 ISO 17025를 준수하며, 미세 입자의 방출을 방지하기 위해 미리 세척된 타겟을 비활성 환경에 밀봉합니다. 이 재료의 낮은 열 팽창 계수 (25°C에서 11.6μm/(m·K))는 일반적인 기판인 실리콘 또는 유리와의 열 불일치 스트레스를 줄여 호환성을 보장합니다. XRD, SEM-EDS 및 GDMS 분석을 통한 엄격한 품질 검증이 일관성을 보장하며, 이러한 타겟은 정밀도, 열적 안정성 및 초청정 증착 성능을 요구하는 응용 분야에 이상적입니다.
베릴륨 평면 타겟 Be 사양
특성
녹는점
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1277 °C
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밀도
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1.848 g/cm3
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화학 조성
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Be
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순도
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99%, 99.9%
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형태
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평면
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화학 조성. %
원소
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함량
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Be
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Bal.
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F
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0.001
|
Al
|
0.013
|
Si
|
0.021
|
Ti
|
0.023
|
Cr
|
0.029
|
Fe
|
0.15
|
C
|
0.05
|
O
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0.65
|
*상기 제품 정보는 이론적인 데이터에 근거합니다. 구체적인 요구사항 및 상세 문의는 저희에게 연락해 주십시오.
크기: 맞춤형
베릴륨 평면 타겟 Be 응용 분야
- 핵 에너지 및 융합 기술: 베릴륨의 낮은 원자 번호 (Z=4) 및 높은 열 전도도 (200 W/(m·K))는 핵 반응로의 중성자 반사기 및 조절제로서의 역할에 적합합니다. 예를 들어, ITER와 같은 융합 실험 반응기에서는 베릴륨 타겟이 극단적인 플라스마 방사선 (최대 15,000,000°C)을 견딜 수 있는 첫 번째 벽 장갑 위에 코팅을 증착합니다. 산화 저항성 또한 핵 연료 막대 클래딩을 위한 보호층을 지원합니다.
- X선 및 동기화 방사광 광학: 베릴륨은 저에너지 X선 및 중성자에 대해 거의 투명하여 (흡수 단면적 ~0.001 barns) 의료용 CT 탐지기, 동기화 방사광 빔라인 창 및 X선 리소그래피 시스템에서 사용됩니다. 고순도 (≥99.95%) Be 필름은 신호 손실을 최소화하고 고해상도 이미징을 보장합니다.
- 항공우주 및 우주 탐사: 베릴륨은 비탁합니다. 특히 높은 스펙프삳스 *구성의 특성 덕분에 우주 탐사용 위성 구조 및 우주 망원경의 거울 (예: 제임스 웹 우주 망원경의 Be 거울) 및 로켓 노즐 코팅에 사용됩니다. 낮은 열 팽창 계수 (11.6μm/(m·K))는 극한의 온도 (-240°C ~ 300°C)에서 변형을 최소화하여 광학 정밀성을 보장합니다.
- 반도체 및 고급 전자제품: 베릴륨 평면 타겟은 고출력 전자제품의 열 전도성이 높은 저스트레스 박막을 위한 PVD 증착을 가능하게 합니다. 최근 연구는 Be 기반 화합물 (예: BeS)을 투명 반도체 p형으로 탐구하여 유연한 전자제품 및 광전자 장치의 발전 가능성을 열고 있습니다.
- 방위 및 고정밀 센서: 베릴륨의 경량 강도 및 열 안정성은 미사일 유도 시스템, 적외선 광학 및 관성 내비게이션 자이로스코프에서 필수적입니다. 비자성 특성과 EMI 저항성 또한 군사 및 항공우주 시스템의 초정밀 센서 성능을 향상시킵니다.
- 특수 합금 및 산업 도구: 베릴륨-구리 합금 (2% Be)은 비폭발성 드릴링 도구 및 폭발 방지 장비에 사용됩니다. 평면 타겟은 산업 구성 요소에 내마모성 Be 코팅을 증착하여 부식 또는 고마찰 환경에서 서비스 수명을 연장합니다.
베릴륨 평면 타겟 Be 포장
우리 제품은 재료 치수에 따라 다양한 크기의 맞춤형 상자에 포장됩니다. 작은 품목은 PP 박스에 안전하게 포장되며, 큰 품목은 맞춤형 목재 상자에 배치됩니다. 우리는 포장 맞춤화를 엄격하게 준수하고 운송 중 최적의 보호를 제공하기 위해 적절한 완충재를 사용합니다.

포장: 상자, 목재 상자 또는 맞춤형.
제조 공정
1. 간략한 제조 공정 흐름

2. 시험 방법
- 화학 조성 분석 - GDMS 또는 XRF와 같은 기술을 사용하여 순도 요구 사항 준수를 확인합니다.
- 기계적 특성 시험 - 인장 강도, 항복 강도 및 연신율 시험을 포함하여 재료 성능을 평가합니다.
- 치수 검사 - 두께, 폭 및 길이를 측정하여 지정된 공차를 준수하는지 확인합니다.
- 표면 품질 검사 - 시각적 및 초음파 검사를 통해 스크래치, 균열 또는 포함물과 같은 결함을 확인합니다.
- 경도 시험 - 재료의 경도를 결정하여 균일성과 기계적 신뢰성을 확인합니다.
베릴륨 평면 타겟 Be FAQ
Q1: 왜 베릴륨 타겟은 알루미늄이나 구리보다 상당히 비쌉니까?
A1: 재료 희소성: 전 세계 베릴륨 생산은 약 300톤/년으로 비싼 정제를 요구합니다 (진공 증류/전기분해).
가공 난이도: 브리틀함으로 인해 핫 이소타시 압축(HIP) 또는 분말 야금을 포함한 전문화된 방법이 필요하여 수율이 감소합니다.
비용 절감 대체재: 베릴륨-구리 합금 타겟 (0.5-2% Be)이 비판적이지 않은 응용 분야에서 60-80% 비용 절감을 제공합니다.
Q2: 타겟 또는 베릴륨 폐기물은 어떻게 처분해야 합니까?
A2: 재활용 서비스: 우리는 EPA 유해 폐기물 규정을 준수하는 인증된 베릴륨 스크랩 재활용을 제공합니다 (가격은 중량 기준).
지역 폐기: 클라이언트는 공인된 유해 폐기물 처리업체를 이용할 수 있습니다 (인증서 증명 필요).
Q3: 귀사 제품의 베릴륨 평면 타겟 순도는 어떻게 보장됩니까? 산업 표준을 충족합니까?
A3: 순도 사양: 당사 타겟은 ≥99% 순도 (2N 등급)를 달성하며, 철, 알루미늄, 실리콘과 같은 중요 불순물은 50ppm 이하로 관리되며, 이는 발광 방전 질량 분광법(GDMS) 및 X선 형광법(XRF)을 통해 검증됩니다.
인증: ISO 17025 품질 기준을 준수하며, 제3자 테스트 보고서 (예: SGS, UL)를 지원합니다.
경쟁 제품과의 성능 비교 표
베릴륨 타겟 vs. 경쟁 재료: 성능 비교
매개변수
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베릴륨 (Be)
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알루미늄 (Al)
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구리 (Cu)
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타이타늄 (Ti)
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밀도 (g/cm³)
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1.85
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2.70
|
8.96
|
4.51
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열전도도 (W/m·K)
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200
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237
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401
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21.9
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녹는점 (°C)
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1287
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660
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1085
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1668
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스퍼터링 속도
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보통 (최적화된 전력/가스 조건 필요)
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높음 (Ar 기체 하에서 효율적)
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매우 높음 (높은 스퍼터링 수율)
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낮음 (높은 전력 입력 필요)
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필름 특성
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높은 경도, 낮은 스트레스, 높은 열 안정성
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낮은 저항성, 연성
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높은 전도성, 연성
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높은 내식성, 생체 적합성
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결정 크기 균일성
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엄격한 공정 제어 필요 (나노 척도 균일성)
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쉽게 제어 가능 (마이크로미터 척도)
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쉽게 제어 가능 (마이크로미터 척도)
|
높은 에너지 스퍼터링 필요
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독성/안전성
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매우 독성 (엄격한 취급 필요)
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낮은 독성
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낮은 독성
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낮은 독성
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단위 질량당 비용
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매우 비쌈 (희귀 재료 + 복잡한 가공)
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낮음
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보통
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보통
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주요 응용 분야
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핵 시스템, X선 창, 항공 우주 코팅
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반도체 연결, 거울
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IC, 전도성 층
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생체 코팅, 내식성 층
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관련 정보
- 베릴륨(베릴륨) 원소 개요
베릴륨은 4번 원자 번호를 가진 경금속 원소로, 1798년 프랑스 화학자 보클랭에 의해 발견되고 명명되었습니다. 주기율표에서 두 번째로 가벼운 금속 (밀도 1.85 g/cm³, 리튬 다음)은, 중량과 비례하지 않는 주목할 만한 특성을 나타냅니다: 287 GPa의 탄성 계수를 가지며, 이는 강철보다 여섯 배 강합니다. 또한, 매우 높은 열 전도도 (200 W/m-K, 은, 구리 및 금 다음)를 가지고 있습니다. 이러한 "낮은 밀도, 높은 강직성 및 높은 열 전도도"의 조합으로 극한 산업 환경에서 이상적인 특성을 제공하지만, 독성, 높은 비용 및 가공의 어려움이 응용 범위를 제한합니다.
핵심 특성 및 과학적 가치
저 원자 번호에 의한 침투 이점
베릴륨의 원자는 4개의 양성자만 포함하고 있으며, X선 및 중성자에 대한 흡수율이 매우 낮습니다. 이 특성은 베릴륨을 동기 방사선 장치, X선 창 및 핵 반응로의 핵심 재료로 만듭니다. 예를 들어, 의료 CT 장치의 X선 탐지기 창을 알루미늄이나 유리로 만들 경우 이미징 해상도가 크게 저하될 수 있는 반면, 베릴륨 창은 극도로 얇은 두께 (<1mm)로 거의 손실 없는 광선 침투를 달성할 수 있습니다.
극한 환경에서의 안정성
베릴륨은 1,287°C의 녹는점을 가지며, 고온에서 베릴륨 산화물 (BeO)의 보호층을 유지하여 알루미늄 및 마그네슘과 같은 가벼운 금속보다 훨씬 뛰어난 내식성을 제공합니다. 이 특성으로 인해 로켓 노즐 및 핵 연료 막대 케이스용 고온 저항 코팅에 사용됩니다. 미국 화성 탐사 로버 큐리오시티는 극한의 온도와 방사선 조건에서 버틸 수 있는 핵 배터리 (RTG)에 베릴륨 합금을 사용합니다.
항공우주에서의 대체 불가능한 역할
위성 및 우주 망원경 설계에서 베릴륨의 높은 특정 강직성(강직성/밀도)은 경량과 구조적 강도 사이의 균형 문제를 해결합니다. 예를 들어, 제임스 웹 우주 망원경의 18개의 주요 거울은 베릴륨으로 제작되었으며, -240°C의 극한 환경에서 거의 변형되지 않습니다. 반면, 일반 유리나 세라믹은 열 팽창 및 수축으로 인해 이미지를 왜곡시킬 수 있습니다. 유도 미사일의 관성 내비게이션 자이로스코프도 고속에서 치수 안정성을 보장하기 위해 베릴륨 부품에 의존합니다.
응용 분야 및 과제
베릴륨의 산업 응용 분야는 고급 "필수" 영역에 집중되어 있습니다:
핵 및 방위: 중성자 감쇠제, 핵 폭탄 시작 장치 (베릴륨의 광자-중성자 반응 특성 활용);
정밀 광학: 고에너지 레이저 거울, 적외선 열화상 카메라 거울 기초;
특수 합금: 2% 베릴륨을 포함한 베릴륨-구리 합금은 높은 강도와 비폭발성 특성을 결합하여 석유 및 가스 드릴링 도구에 사용됩니다. 베릴륨-구리 합금은 높은 강도와 비폭발성 특성을 결합하여 석유 및 가스 드릴링 도구 및 폭발 방지 장비에 사용됩니다.
사양
속성
녹는 점
|
1277 °C
|
밀도
|
1.848 g/cm3
|
화학 조성
|
Be
|
순도
|
99%, 99.9%
|
형상
|
평면
|
화학 조성. %
원소
|
함량
|
Be
|
Bal.
|
F
|
0.001
|
Al
|
0.013
|
Si
|
0.021
|
Ti
|
0.023
|
Cr
|
0.029
|
Fe
|
0.15
|
C
|
0.05
|
O
|
0.65
|
*상기 제품 정보는 이론적 데이터에 기반합니다. 특정 요구사항 및 자세한 문의는 저희에게 연락해 주시기 바랍니다.
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