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| 카탈로그 번호. | AC5591 |
| 주요 구성 | Al2O3, SiO2, MgO |
| 치수 | Dia. 300mm 등 |
| 밀도 | 3.77g/cm3 |
| Al2O3 콘텐츠 | 96% |
정전기 척은 반도체 제조 장비에서 중요한 구성 요소로, 특히 플라즈마 에칭, 화학 기상 증착(CVD) 및 물리적 기상 증착(PVD) 과정에서 사용됩니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 고품질 정전기 척 제조 및 공급에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.
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