정전기 척 설명:
정전기 척 (ESC)은 반도체 제조 장비에서 사용되는 중요한 구성 요소로, 특히 플라즈마 에칭, 화학 기상 증착(CVD) 및 물리적 기상 증착(PVD) 공정에서 사용됩니다. ESC는 반도체 웨이퍼나 기판을 안정적으로 고정하고 방출하는 역할을 합니다. ESC는 전압이 인가되면 전기장을 생성하여 웨이퍼를 물리적 접촉 없이 고정하는 방식으로 작동하여 균일한 웨이퍼 냉각 및 가열을 제공하며, 평탄도와 최소한의 뒷면 오염을 보장합니다.
알루미늄 산화물(Al2O3)로 제작된 정전기 척(ESC)은 반도체 제조 장비에서 웨이퍼를 안전하게 고정하고 방출하는 데 사용됩니다. 알루미늄 산화물은 우수한 전기 절연 특성, 열 전도율 및 화학적 안정성으로 선호됩니다. ESC의 맥락에서 Al2O3는 주로 반도체 웨이퍼의 정전기 고정을 용이하게 하는 유전체 물질로 사용됩니다.
정전기 척 사양:
화학 조성
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Al2O3
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Al2O3 함량 %
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99
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밀도 (g/cm3)
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3.91
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다공성 %
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0.16
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입자 크기 (μm)
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5.0
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공극 크기 (μm)
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고운
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부피 저항률
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>1.0E15@RT
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비커스 경도
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1900HV
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굴곡 강도
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350MPa
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열팽창계수
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7.24x10-6/℃
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열 전도율
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32.08 W/(m·K) @25℃
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CP
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0.787 J/g·k
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유전율
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9.5 @ 1
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정전기 척 응용 분야
1. 반도체 제조: ESC는 반도체 제작 공정에서 널리 사용되며, 포토리소그래피, 에칭, 화학 기상 증착(CVD) 과정에서 실리콘 웨이퍼를 안전하게 고정하여 정밀한 정렬과 안정성을 보장합니다. ESC는 화학 기계 평탄화(CMP) 공정에서 웨이퍼를 고정하는 데도 사용됩니다.
2. 평판 디스플레이(FPD) 제조: ESC는 LCD, OLED 및 기타 평면 디스플레이 생산에서 크고 얇으며 깨지기 쉬운 유리 기판을 처리하고 가공하는 데 사용됩니다.
3. 마이크로 전자 기계 시스템(MEMS): MEMS 제조에서 ESC는 다양한 제작 및 조립 공정 중에 마이크로 규모 구성 요소를 안전하게 고정합니다.
4. 태양광 패널 제조: ESC는 태양광 패널 생산 과정에서 박막 태양 전지 및 실리콘 웨이퍼를 처리하고 고정하는 데 사용됩니다.
5. 정밀 광학: ESC는 정밀 기계 가공, 코팅 및 조립 과정에서 렌즈와 거울과 같은 광학 구성 요소를 고정하는 데 사용됩니다.
6. 인쇄 회로 기판(PCB) 제조: ESC는 드릴링, 에칭 및 기타 제작 과정에서 PCB 기판을 안전하게 고정하여 정밀한 정렬과 안정성을 보장합니다.
7. 진공 코팅: ESC는 진공 챔버에서 기판을 고정하여 박막 증착 공정(예: 스퍼터링 및 증발) 중에 사용됩니다.
8. 표면 분석 및 측정: ESC는 표면 분석 기술(예: 주사 전자현미경(SEM) 및 원자력 현미경(AF)에서 샘플을 안전하게 고정하여 안정적이고 정밀한 위치 지정을 제공합니다.
9. 리소그래피: 포토리소그래피에서 ESC는 패턴 전송을 위한 포토 마스크와 웨이퍼를 정밀하게 정렬하여 고정합니다.
10. 적층 제조: ESC는 고정밀 적층 제조 응용 프로그램에서 다양한 3D 프린팅 과정 중에 얇은 재료의 층을 고정하는 데 사용됩니다.
11. 고온 처리: ESC는 전통적인 기계적 고정이 불가능하거나 작업물에 손상을 줄 수 있는 고온 처리 응용 분야에서 사용됩니다.
정전기 척 포장
우리의 정전기 척은 제품의 품질을 원래 상태에서 보존하기 위해 보관 및 운송 중에 신중하게 취급됩니다.