| 카탈로그 번호. | ST11192 |
| 구성 | In2O3, SnO2 |
| 순도 | ≥99.99% 또는 사용자 지정 |
| 양식 | Target |
| 모양 | 관형 |
| 치수 | 사용자 지정 |
인듐 주석 산화물 로터리 타겟, ITO 타겟은 균일한 스퍼터링 성능을 지원하기 위해 인듐과 주석 산화물의 제어된 혼합을 사용하여 제조됩니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 분광 분석과 일상적인 재료 균질성 검사를 포함한 엄격한 품질 평가를 활용합니다. 이 공정은 반도체 및 광전자 애플리케이션에 필요한 정밀한 박막 증착을 지원하기 위해 재현성과 엄격한 조성 제어를 강조합니다.
로터리 설계는 재료의 고른 소비를 촉진하여 국부적인 가열과 타겟 침식을 최소화합니다. 이를 통해 디스플레이 및 태양 전지 제조와 같은 응용 분야에서 중요한 안정적인 증착 속도와 향상된 필름 균일성을 보장합니다.
분광 기법과 배치 간 화학 분석을 사용하여 조성을 검증합니다. 이 테스트는 인듐 대 주석 비율의 편차를 최소화하고 고출력 스퍼터링 조건에서 일관된 타겟 특성을 보장합니다.
예, 맞춤형 치수를 통해 다양한 스퍼터링 시스템에 맞게 조정할 수 있습니다. 고객은 증착 챔버와의 호환성을 보장하고 공정 일관성을 유지하기 위해 장비 요구 사항을 지정해야 합니다. 자세한 내용은 당사에 문의하시기 바랍니다.
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