실리콘-알루미늄 로터리 타겟 설명
실리콘-알루미늄 로터리 타겟은 박막 증착을 위한 스퍼터링 공정에서 일반적으로 사용되는 복합 재료입니다. 실리콘과 알루미늄을 혼합하여 만든 이 타겟은 두 재료의 우수한 특성을 결합하여 다양한 코팅 응용 분야에서 고성능 결과를 제공합니다. 정밀하고 내구성이 뛰어난 박막이 필요한 전자, 태양 에너지, 반도체 제조와 같은 산업에서 자주 사용됩니다.
실리콘-알루미늄 로터리 타겟의 주요 특징:
고성능: 타겟 성능 저하를 최소화하면서 효율적인 스퍼터링 성능을 제공하여 오래 지속되고 일관된 결과를 보장합니다.
내구성: 복합 구조는 까다로운 스퍼터링 환경에서도 타겟의 내구성을 향상시켜 잦은 교체 필요성을 줄여줍니다.
매끄러운 증착: 고급 기술 애플리케이션에 필수적인 균일하고 고품질의 박막 증착을 제공합니다.
비용 효율적: 실리콘과 알루미늄을 결합하면 고품질의 성능을 유지하면서 순수 실리콘 타겟에 비해 더 경제적인 솔루션을 제공합니다.
다목적성: 박막 코팅이 중요한 전자 제품, 태양광 패널 생산, 광학 코팅 등 다양한 애플리케이션에 이상적입니다.
실리콘-알루미늄 로터리 타겟 애플리케이션
- 전자제품 제조: 트랜지스터, 커패시터, 저항기 등의 장치에서 전도성 및 절연성 박막을 생산하는 데 사용됩니다.
- 태양전지: 박막 태양전지 생산에 필수적이며 에너지 효율을 향상시킵니다.
- 반도체산업: 마이크로 전자 부품 및 반도체 웨이퍼 제조에 적용됩니다.
- 광학코팅: 렌즈, 거울 및 기타 광학 부품을 위한 얇은 층을 만드는 데 사용됩니다.
실리콘-알루미늄 로터리 타겟 포장
로즈 플라스틱 제품은 재료 치수에 따라 다양한 크기의 맞춤형 상자에 포장됩니다. 작은 품목은 PP 상자에 안전하게 포장하고, 큰 품목은 맞춤형 나무 상자에 넣습니다. DHL은 운송 중 최적의 보호를 제공하기 위해 맞춤형 포장과 적절한 완충재 사용을 엄격하게 준수합니다.
포장: 상자, 나무 상자, 종이 통, 철제 통 또는 맞춤형.
참고용으로 제공된 포장 세부 정보를 검토하시기 바랍니다.
실리콘-알루미늄 로터리 타겟 FAQ
Q1. 실리콘-알루미늄 로터리 타겟이란 무엇인가요?
실리콘-알루미늄 로터리 타겟은 미세한 유리 섬유 가닥으로 만든 직조 직물입니다. 고강도, 내열성 및 경량 특성으로 잘 알려져 있어 복합 재료 강화, 단열 및 보호 용도에 이상적인 소재입니다.
Q2. 실리콘-알루미늄 로터리 타겟의 주요 특성은 무엇인가요?
높은 강도: 인장 강도와 내구성이 뛰어납니다.
내열성: 최대 550°F(288°C) 이상의 고온을 견딜 수 있습니다.
내화학성: 많은 산, 알칼리 및 용제에 대한 내성이 있습니다.
경량: 금속이나 다른 보강재에 비해 상대적으로 가볍습니다.
전기 절연성: 비전도성이어서 전기 절연에 적합합니다.
내구성: 마모, 곰팡이, 부패에 강합니다.
Q3. 실리콘-알루미늄 로터리 타겟은 내화성이 있나요?
예, 실리콘-알루미늄 로터리 타겟은 유리 섬유의 고유한 내열 특성으로 인해 내화성이 있습니다. 구조적 무결성을 잃지 않고 고온을 견딜 수 있어 내화성 의류 및 산업용 애플리케이션에 사용하기에 이상적입니다.
관련 정보
실리콘 스퍼터링 타겟의 문제점:
1. 짧은 스퍼터링 시간:
타겟 재료는 아크 형성 및 유리 오염과 같은 문제를 방지하기 위해 주기적인 PM(예방적 유지보수) 및 연마가 필요하며, 일반적으로 5000kW 작동 후 연마해야 합니다.
2. 수율 저하:
업계 표준에 따르면 현재 유리 오염(브라이트 스팟)의 수율은 약 70~80%입니다.
3. 목표 균열:
대상 재료의 균열을 방지하기 위해 사용 중 전력 곡선을 주의 깊게 모니터링해야 합니다.
4. 아크 형성:
타겟 소재의 저항이 높으면 스퍼터링에 더 높은 전압이 필요하므로 공정 중에 아크 형성 및 관련 문제가 발생할 수 있습니다.
5. 고르지 않은 필름 두께:
타겟 전체에 걸쳐 전기 저항이 고르지 않게 분포하면 스퍼터링 속도가 일정하지 않아 유리의 필름 두께가 고르지 않게 됩니다.
6. 불충분한 타겟 순도:
전기 저항 문제를 해결하기 위해 전도성 금속을 타겟에 추가하는 경우가 많으며, 이는 고순도 타겟의 생산에 영향을 미칠 수 있습니다.
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