Name: ST6843 실리콘 로터리 타겟, Si 타겟
Brand: Stanford Advanced Materials (SAM)
SKU: ST6843
Availability: InStock

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스퍼터링 타겟

ST6843 실리콘 로터리 타겟, Si 타겟

카탈로그 번호.	ST6843
재료	Si
치수	사용자 지정
양식	로터리 타겟 또는 사용자 지정
순도	≥99.9% 또는 사용자 지정

Stanford Advanced Materials(SAM)는 고성능 스퍼터링 응용 분야를 위해 설계된 프리미엄 실리콘 로터리 타겟을 제공합니다. 이 타겟은 뛰어난 안정성, 내구성 및 효율성을 제공하여 전자 제품, 태양광 패널 및 기타 첨단 소재의 박막 생산에 이상적입니다.

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설명

사양

실리콘 로터리 타겟 설명

실리콘 로터리 타겟은 높은 증착률, 연장된 스퍼터링 수명, 균일한 박막 코팅을 제공하도록 설계되었습니다. 평면 타겟에 비해 로터리 타겟은 재료 활용도를 높이고 작동 수명이 길어 가동 중단 시간을 줄여줍니다. 이러한 타겟은 일반적으로 초고순도 실리콘(예: 99.999%)으로 만들어지며 특정 증착 요건에 맞게 전기 저항을 조정하기 위해 합금 또는 도핑될 수 있습니다.

주요 특징

고순도(최대 5N 또는 6N): 낮은 오염과 고품질 필름 특성을 보장합니다.

긴 타겟 수명: 회전식 설계로 더 긴 연속 작동과 더 나은 재료 활용이 가능합니다.

우수한 필름 균일성: 일관된 증착률로 대면적 코팅에 이상적입니다.

낮은 입자 생성: 정밀한 제작으로 아크나 입자 등의 결함을 최소화합니다.

맞춤형 저항률: 공정 요구 사항을 충족하기 위해 고유 또는 도핑된 변형으로 제공됩니다.

실리콘 로터리 타겟 응용 분야

- 평판디스플레이(FPD): 박막 트랜지스터(TFT) 층을 위한 실리콘 소스.

- 반도체: 반도체: 집적 회로 및 마이크로일렉트로닉스의 증착 공정에 사용됩니다.

- 태양광: 박막 태양전지 패널에 실리콘 층을 증착하는 핵심 재료.

- 광학코팅: 유리 및 렌즈의 반사 방지 또는 보호 코팅에 적용됩니다.

실리콘 로터리 타겟 포장

당사의 제품은 재료 치수에 따라 다양한 크기의 맞춤형 상자에 포장됩니다. 작은 품목은 PP 상자에 안전하게 포장하고, 큰 품목은 맞춤형 나무 상자에 넣습니다. 운송 중 최적의 보호를 제공하기 위해 맞춤형 포장과 적절한 완충재 사용을 엄격하게 준수합니다.

포장: 상자, 나무 상자, 종이 통, 철제 통 또는 맞춤형.

참고용으로 제공된 포장 세부 정보를 검토하시기 바랍니다.

실리콘 로터리 타겟 FAQ

Q1. 실리콘 로터리 타겟이란 무엇인가요?

실리콘 로터리 타겟은 유리, 반도체, 태양광 패널과 같은 기판에 박막을 증착하기 위해 회전 마그네트론 스퍼터링 시스템에서 사용되는 고순도 실리콘으로 만들어진 원통형 스퍼터링 타겟입니다.

Q2. 평면 타겟에 비해 로터리 타겟의 장점은 무엇인가요?

더 고른 침식으로 인해 수명이 길어집니다.

재료 활용도가 80~90% 이상 높습니다.

대면적 기판에 대한 필름 균일성 향상.

타겟 변경 횟수가 줄어들어 다운타임이 감소합니다.

Q3. 실리콘 로터리 타겟의 주요 응용 분야는 무엇인가요?

평판 디스플레이(FPD)

반도체 장치

박막 태양 전지

광학 코팅

태양광 및 마이크로일렉트로닉스 산업

제조 공정

실리콘 스퍼터링 타겟의 문제점:

1. 폴리실리콘 잉곳 주조:

이 공정은 고품질 폴리실리콘 잉곳 주조로 시작하여 스퍼터링 응용 분야에 필요한 기본적인 재료 특성과 구조적 무결성을 보장합니다.

2. 제곱 및 성형:

주조된 잉곳을 적절한 치수의 블록으로 절단 및 성형하여 추가 정밀 가공을 위한 소재를 준비합니다.

3. 내부 보어 가공:

중앙 보어를 높은 치수 정확도로 조심스럽게 드릴링합니다. 이 내부 구멍의 정밀도는 로터리 스퍼터링 시스템에서 적절한 마운팅과 정렬에 매우 중요합니다.

4. 외경 연삭:

외부 표면을 연마하여 뛰어난 진원도, 매끄러운 마감, 엄격한 치수 공차를 달성합니다. 이 단계는 고속 회전 중 타겟의 안정성을 보장하고 스퍼터링 공정 중 균일한 필름 증착에 기여합니다.

사양

재료	Si
치수	맞춤형
형태	로터리 타겟 또는 맞춤형
순도	≥99.9%, >99.95% 또는 맞춤형
밀도	2.2g/cm3
산소 함량	<500ppm
전기 저항	< 0.05 Ω-cm
표면 마감	Ra < 1.2 μm

*위의 제품 정보는 이론적 데이터를 기반으로 한 것입니다. 구체적인 요구 사항 및 자세한 문의는 당사에 문의하시기 바랍니다.

ST6843 실리콘 로터리 타겟, Si 타겟

실리콘 로터리 타겟 설명

실리콘 로터리 타겟 응용 분야

실리콘 로터리 타겟 포장

실리콘 로터리 타겟 FAQ

제조 공정

사양

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